中古 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #293592925 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CELLESTA+は、半導体製造プロセスにおいてフォトマスクやウェーハのスクラブや開発に使用される自動化装置です。この装置は、マスクやウェーハのマニュアルスクラブやクリーニングのひずみと時間を削減するように設計されています。このデバイスは、垂直シングルヘッド、高圧技術、スクラビングモーションを使用して、レジストメッキされたウエハからレジスト残留物を効果的に洗浄および除去する高度で専門化された自動スクラバーを統合しています。これは、異なるアプリケーションのためのプロセスの柔軟性を最適化するために、高い洗浄速度と容量（ヘッドあたり最大5ウェーハ）を持っており、ユーザー制御と調整のためのプリインストールされた通信ソフトウェアが装備されています。また、自動キャリブレーションシステムにより、微細な構造を加工する際の精度も向上します。TEL Cellesta+には、フォトマスクをすばやく洗浄・乾燥させるだけでなく、スクラビング中のマスクからの粒子のドリフトを防ぐ強力なフローコントロールユニットを備えた高度な洗浄タンクがあります。最先端の機械技術はまた敏感な構造で働くとき最高品質の標準を維持するために洗浄された区域の表面温度を維持します。TOKYO ELECTRON CELLESTA+は、乾燥層と湿潤層の両方で最大限の±50m精度でレジストフィルムの厚さを測定することができる高度なレジストフィルム測定ツールを設計および装備しています。これにより、ユーザーはエッチングプロセスを監視して、エッチングが正しく進行していること、残留物が残っていないことを確認できます。さらに、フォトレジスト、金属、プラスチック、無機材料などの幅広い化学基板材料をサポートするように設計されています。また、様々な洗浄ニーズに対応する高粘度および低粘度のケミカルソリューションにも対応しています。さらに、Cellesta+には、シリーズのあらゆるモデルの最高の視点と位置をユーザーに提供することで、最高の快適性を保証する人間工学に基づいたデザインも装備されています。これらの機能と高度な自動スクラバーにより、TEL/TOKYO ELECTRON CELLESTA+は、フォトマスクやウェーハの取り扱いに非常に強力で信頼性の高いツールとなります。