中古 TEKNEK 167 #177466 を販売中

TEKNEK 167は、ウェーハやマスクの費用対効果と効率的な洗浄のために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。パターン認識システムを搭載し、埋め込まれた粒子から粒子を検出して除去することができます。スクラバーには、ステンレススチールホルダーによって所定の位置に保持されている傷に強いポリエチレン交換パッドが装備されています。スクラバーにはデュアルブラシが設置されており、ウェーハとマスクの両面を平行にスクラブすることができます。スクラバーの中心にはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）があり、スクラバーのクリーニングサイクルとブラシヘッドの駆動に使用されるモーターの角度速度を制御することができます。スクラビングプロセスは、必要に応じてスクラビングの速度を自動的に増減させるように調整できる可変スピードモーターによって駆動されます。PLCはまた、ブラシがウェーハまたはマスクに対して移動する力を制御し、埋め込まれた汚れが安全かつ効果的に除去されるようにします。167スクラバーは、ウェーハとマスクが清潔で汚染のないように設計されています。超音波トランスデューサと赤外線レーザーは、除去のための任意の粒子を検出するために使用されます。トランスデューサは、あらゆる汚れや破片を振動させる音波を放出します。スクラバーにはマイクロコントローラが内蔵されており、汚染レベルを測定し、トランスデューサで測定できない汚染物質を正確に検出するのに役立ちます。スクラバーにはブラシヘッドとセパレータパッドが装備されており、摩擦を軽減し、粒子をウェーハやマスクから安全に分離して保つのに役立ちます。スクラバーはまた、すばやく効果的に脱落した粒子を除去するのに役立つ真空システムで設計されています。TEKNEK 167スクラバーは、最大6インチウェーハと3X4インチマスクを洗浄するように設計されています。スクラバーには、クリーニングプロセスを追跡するクリーニングモニターが装備されており、クリーニングされた粒子の数、クリーニングされたウェーハ/マスクの割合、およびサイクルの合計数の詳細が表示されます。マイクロプロセッサは、洗浄プロセスの一貫性と精度を監視するのに役立ちます。167スクラバーは使いやすく、メンテナンスも簡単で、ウェーハやマスクのメンテナンスや洗浄に信頼性の高い効率的なシステムを必要とする企業や研究業界にとって費用対効果の高いソリューションです。スクラバーの高度な技術は、埋め込まれた粒子が安全かつ迅速に除去され、プロセスが一貫して効率的であることを保証するのに役立ちます。