中古 TECHNICAL DEVICES 318 #134727 を販売中

TECHNICAL DEVICES 318
ID: 134727
ヴィンテージ: 1999
In-line washing system Pre-wash / wash / rinse / final rinse / heated dryers 1999 vintage.
TECHNICAL DEVICES 318は、半導体技術の製造において最高の清浄度を確保するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。この先進的なデバイスは、汚染のリスクを最小限に抑え、基材の制御を最大化するのに最適です。318は様々なサイズのカセット、ウェーハ、およびマスクを収容する多目的な洗浄装置です。これは、1つのカセットから別のカセットへのウェーハ転送をすばやく処理できるカセットトランスファーモジュールを備えています。マスク搬送モジュールは、マスクを1つのホルダーから別のホルダーに移動させることができます。TECHNICAL DEVICES 318の特徴は、ステンレス製の構造から始まります。ハウジングは、それが過酷な洗浄条件に立ち上がることを保証し、重い負荷をサポートする強力な、耐腐食性合金から作られています。薄型で、狭い場所での省スペースが可能で、高さ調節可能なハンドルが付属しています。このユニットは、乾式と湿式の両方のプロセスで動作し、さまざまな種類のウエハ基板に対応するための調整可能なドウェル時間を有しています。スクラブ動作は、最大のスクラブ効率を確保するために調整可能な強力な同期モータによって実行されます。スクラブヘッドは、0。001°以内の複数回転速度と位置精度で基板の損傷を最小限に抑えるように設計されています。また、ゴミ収集棚が内蔵されており、ゴミが基材を汚染しないように設計されています。318はスクラブ環境を正確に制御できる制御システムを備えています。ダイロスモニターを内蔵しており、ダイロスを正確に測定および記録することができます。このデバイスは、最適なスクラブ環境を確保するために温度制御にも対応できます。TECHNICAL DEVICES 318は、半導体技術の製造に使用することを目的としており、高い基板清浄度とダイフリー基板を確保することができます。高信頼性の同期モータを搭載し、スクラブ効率を最大限に高め、さまざまなウエハ基板に調整可能なドウェルタイムを提供します。また、正確な洗浄環境のための正確な位置精度と制御ユニットを備えています。また、耐久性のあるステンレス合金で構成され、狭いスペースに収まるようにロープロファイルで設計されています。この高度なスクラビングマシンは、比類のない精度と性能を提供し、あらゆる半導体製造設備に最適です。
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