中古 TCM CYE-QJ323-A1 #9304744 を販売中

TCM CYE-QJ323-A1は、リソグラフィやエッチングの前に表面から汚染物質を除去するように設計された広く使用されているウェーハおよびマスクスクラバーです。それはマイクロエレクトロニックおよび他の関連の企業で広く利用されています。CYE-QJ323-A1スクラバーは高度に自動化され、機械加工されたアルミニウムフレームと空気圧駆動装置で構成されています。4面の加工エリアと、スクラビングチャンバーの周りにウェーハやマスクを駆動するコンベアシステムを備えています。空気の単位は作り付けの真空ポンプおよび圧縮空気によって動力を与えられます。コンベヤー機械は可変的な速度制御およびプログラム可能な論理のコントローラー（PLC）によって制御される中心中心の中心の運転用具が付いているブラシレスACモーターによって運転されます。スクラバーには、内部ドア、緊急停止ボタン、安全インターロックなどの適切な安全機能があります。外側には、LEDモニターを内蔵したファンスタイルのステンレススチールエンクロージャがあります。LEDモニターは、オペレータにスクラバーのパフォーマンスを視覚的にフィードバックし、必要に応じて調整することができます。スクラバーには、低照度環境でのスクラブ性能を向上させる調整可能なストロボライトも含まれています。内部的には、スクラバーには調整可能なブラシヘッドが装備されており、クリア力、速度、方向が異なります。ブラシヘッドは、ラジアルまたは直交ブラシ用に設定できます。TCM CYE-QJ323-A1にはワイパー、耐腐食性ノズル、ノズル安定剤もあります。さらに、スクラバーから粒子、蒸気、破片を除去するための化学濾過アセットが含まれています。スクラバーには、データ記録とデータ記録モデルが装備されており、スクラバーの不揮発性メモリにデータを保存します。スクラバーはUSBポートを介してPCと通信できます。PCはスクラバーと通信してスクラビングパラメータを調整し、プロセスデータをダウンロードできます。要約すると、CYE-QJ323-A1は、リソグラフィやエッチングプロセスの前に表面から汚染物質を除去するように設計された汎用性と高度に自動化されたスクラバーです。その堅牢な設計、調節可能なスクラビングヘッド、化学のろ過装置、およびデータロギング機能により、マイクロエレクトロニクスおよび関連産業に最適です。