中古 SVG 8620 #9162241 を販売中
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SVG 8620は、半導体などの先進的な生産設備において、優れた粒子制御と汚染制御を提供する自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。これは、クラス最高のロボット技術を使用して、マスクやプリズム構造とともに、ウェーハの表面を高精度、信頼性、再現性でスクラブすることによって実現します。8620は、幅広い条件下で粒子を除去するために最適な圧力で表面に従事する設計された自己調整ラップ機構を使用してウェーハとマスクスクラブを実行します。それは異なった表面の輪郭および注文のウエハーのサイズを収容するために調節可能であるステンレス鋼のスクラブのプラットホームを特色にします。スクラバーは毎時400個までの速度でスクラブすることができ、ウェーハの両側を同時にスクラブすることができます。スクラブ機能に加えて、SVG 8620はプロセスを最適化し、再現可能な結果を保証する高度な制御機能も備えています。これには、乾燥環境を維持するパワーアシスト環境制御ユニット、環境制御ユニット「低ノイズ」、3。5ミクロンの粒子を検出してカウントできる精密な粒子カウント技術が含まれます。8620はさらに、超長寿命センサと独自のダイナミックパワースクラバーによるパフォーマンスの完全性を確保し、スクラブ表面の摩耗を軽減し、部品寿命を延長します。また、運転中の人員や機器を保護するための包括的な安全対策を誇っています。部品は安全壁に囲まれ、偶発的な接触を防ぎ、冷却システムは部品や機械の温度を安定させ、損傷のリスクを低減します。SVG 8620は、パフォーマンス、信頼性、安全性の完璧なバランスを提供し、現代の生産プロセスに最適です。生産設備は、高品質の生産基準を維持するために必要な保証を提供し、プロセスの卓越性を保証します。
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