中古 SVG 8620 SSC / 8636 HPO #9366489 を販売中

SVG 8620 SSC/8636 HPOウェーハ&マスクスクラバーは、レチクルのフィルム性能を回復し、ウェーハの物理的欠陥に対処するように設計された精密洗浄装置です。このシステムは、フォトマスク、ウェーハ、レジスト、マウントまたは研磨パッドを含むあらゆる表面からの破片や汚染物質の除去に適しています。8620 SSC/8636 HPOユニットは、線形および回転ステージの動き、調整空気圧、および複数のノズル構成を備えています。これにより、すべてのタイプのサーフェスを再現可能で制御可能なスクラブが可能になります。その堅牢で調節可能な性質により、カスタマイズ可能な洗浄体験と高速サイクルタイムが可能です。最適な結果を得るために、マシンにはデュアルスクラブゾーンが装備されています。これにより、異なるスクラブ圧力値やデュアルスクラブ速度などの追加のスクラビングパラメータが可能になります。さらに、デュアルスクラブゾーンにより、ユーザーはさまざまなレチクル設計に基づいてプロセスレシピを最適化できます。スクラブプロセスは窒素ガスによって駆動され、空気駆動システムよりもターゲット領域への浸透率が大幅に高くなります。ガス圧力、プロセス圧力、ノズル設計を厳格に制御することで、幅広いスクラビングプロセスを可能にします。これには、例えば微細なラインプリントを処理する機能が含まれます。SVG 8620 SSC/8636 HPOウェーハ&マスクスクラバーは、さまざまな利点を提供する経済的なソリューションです。その高度な機能は、優れた洗浄性能、改善されたサイクルタイム、および低いスクラブ寿命コストを提供します。さらに、レジストの平面化や構造化など、非常に複雑で壊れやすい部品にも対応できるため、基板の表面メトリックが向上します。これにより、製品全体の収量が増加します。8620 SSC/8636 HPOは柔軟な設計により、追加の適応なしに設計、レチクル形状、サイズ、基板要件の変更を許容します。このモデルは、半導体産業や研究所などの多様な産業や研究環境での用途に適しています。全体として、SVG 8620 SSC/8636 HPOウェーハ&マスクスクラバーは、レチクルおよび各種基板の効率的な洗浄とスクラブのための費用対効果の高い信頼性の高いソリューションです。その高度な機能により、高いスループットと低コストで再現性と最適化された洗浄が可能になります。