中古 SVG 8620 / 8636 #293625501 を販売中

ID: 293625501
ウェーハサイズ: 6"
Dual track wafer scrubber, 6".
SVG 8620および8636は、SVG社が製造する高度なウェーハ&マスクスクラバーシステムです。これらのスクラバーシステムは、精密でケミカルフリーのスクラブ最適化を提供し、繊細で複雑な材料のクリーンで安全な処理を可能にします。SVG 8620および8636スクラバーシステムは、2つのウェーハスクラブヘッドと1組の独立駆動マスクスクラブヘッドを使用して、ウェーハとマスクの両方の詳細な制御とスクラブ最適化を可能にします。まず第一に、SVG 8620および8636ウェーハ&マスクスクラバーシステムの最も重要な特徴は、精密で化学物質を含まないスクラブを提供する能力です。これらのスクラバーは、酸化物、窒化物、およびPECVD材料を含むさまざまな繊細な材料を洗い流すことができる統合されたケミカルフリーブラシを備えています。さらに、これらのブラシは高度な技術を使用しており、28nmピッチまで細かく集中したスクラビングが可能です。これらの機能により、スクラバーシステムは、ウェーハとマスク材料の複雑なディテールを削り落とすのに理想的です。SVG 8620および8636ウェーハ&マスクスクラバーシステムのもう1つの重要な特徴は、2つのウェーハスクラブヘッドと2つのマスクスクラブヘッドです。これらのスクラブヘッドは、クリーニングサイクル時間を短縮するために調整することができ、独立して駆動してプログラムすることもでき、より高いレベルのカスタマイズを可能にします。さらに、これらのスクラブヘッドは特別なシーケンスとレシピでプログラムすることができ、特定のスクラブニーズに合わせて調整することができます。最後に、SVG 8620および8636ウェーハ&マスクスクラバーシステムは、自動洗浄、清潔、乾燥サイクルも備えています。これにより、スクラバーは手動入力を最小限に抑えて材料を洗浄、乾燥、洗浄し、時間を節約し、スループットを向上させることができます。さらに、スクラバーシステムは回転負荷ダウンアームを備えており、より均一で完全な洗浄を可能にします。結論として、SVG 8620およびSVG 8636ウェーハ&マスクスクラバーシステムは、精密な化学物質を含まないスクラブ用に設計された先進的なシステムです。これらのスクラバーシステムは、28nmピッチを誇る統合ケミカルフリーブラシと、2つのウェーハスクラブヘッドと2つのマスクスクラブヘッドを備えています。さらに、スクラバーシステムは、洗浄、清潔、乾燥サイクルを自動化し、回転負荷ダウンアームを備え、より均一で完全な洗浄を実現しています。
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