中古 SVG 8600 #9411945 を販売中

SVG 8600は半導体プロセス機器のリーディングメーカーであるセミテック社のウェーハ&マスクスクラバーです。このスクラバーは、フォトレジストなどの表面汚染物質を半導体ウェーハやマスク上で優れた洗浄を行うことを目的としています。その洗浄プロセスは完全に自動化されており、酸素ラジカルを使用して徹底的にクリーンな基板を確保しています。8600は多目的で、信頼できるクリーニング装置です。酸素真空を利用して、基板やマスクの特性を変えずにプロセス生成残留物を除去します。ウエハーは直径8インチまで、マスクは10インチまで対応可能です。さらに、表面から粒子や汚染物質を除去するための統合スクラバーユニットを装備しています。SVG 8600は2段階のクリーニングサイクルを利用します。最初の段階では、酸素蒸気を使用して表面から有機化合物を除去します。この蒸気は密封された反応室で作成され、ウェーハまたはマスクを介して配信されます。その後、蒸気は表面の有機化合物と反応し、それらに付着して酸素ラジカルに分解する。洗浄サイクルの第2段階では、酸素ラジカルが粒子と汚染表面に付着し、それらを酸化します。酸化した後、ガスや粒子は真空によって表面から引き離されます。このプロセスは数回繰り返され、典型的なウェットスクラビングプロセスよりもクリーンな基板とマスクを提供するように設計されています。このマシンは、PCベースのソフトウェアスイートによって制御および監視されます。このスイートには、障害診断のサポートと、トラブルシューティングプロセスを通じてツールオペレーターを導く一般的な障害とソリューションのライブラリが含まれています。また、資産パラメータのリアルタイムのレポートを提供し、プロセス管理ソフトウェアとインタフェースすることができます。モデルも完全にカスタマイズ可能です。スクラバーヘッドはx方向とy方向の両方に移動することができ、異なる形状と基板のサイズの洗浄を可能にします。さらに、ステップ速度とドウェル時間を調整して、ユーザーが特定の要件に合わせてクリーニングパラメータを調整することができます。また、洗浄前に基板やマスクからの静電気を除去するためのイオナイザーを装備しています。結論として、8600は優れた洗浄と表面除染のために設計された自動ウェーハ&マスクスクラバーです。汎用性が高く、完全にカスタマイズ可能なクリーニングサイクルとトラブルシューティング用の診断ソフトウェアスイートを提供します。それは信頼でき、有効で、きれいな基質およびマスクを毎回保障します。