中古 SVG 8600 #9404481 を販売中

SVG 8600ウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体産業におけるウェーハの高スループット洗浄を可能にするように設計された自動研磨装置です。通電メディアと非通電メディアのユニークな組み合わせを使用して、ウェーハとマスクをスクラブして磨きます。8600は、洗浄サイクルの完了時にウェーハとマスクを除去するためのロボットアームを備えており、効率的かつ費用対効果の高い方法でウェーハとマスクの高いスループットと精度の洗浄を可能にします。統合されたスクラバーは、ユーザーが迅速かつ正確にクリーニングサイクルを開始し、さまざまな基板タイプに理想的なクリーニングソリューションを提供できるように設計されています。SVG 8600はいろいろなスクラブおよび磨く媒体を活動化させ、ユーザーがクリーニングの条件をカスタマイズすることを可能にするように設計されています。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、簡単なセットアップと最適なクリーニング性能を実現します。コントローラはロボットアームに接続されており、ユーザーはいくつかのスクラブとポリッシングメディア、クリーニングサイクルオプションを選択できます。インテリジェントプログラミングユニット（IPS）により、基板タイプに応じたスクラブおよび研磨媒体の自動調整が可能です。ロボットアームは、ウェーハとマスクをスクラバーに移動させ、迅速かつ効率的な洗浄のために搬送するために使用されます。スクラバーは、基板の最適な洗浄を確保し、高品質の結果を維持するために、特定のスクラブおよび研磨パラメータを維持するように設定されています。フォトマスク、ウェーハ、その他のSEM CMPターゲットなど、さまざまな基板をスクラブし、研磨することができます。ウェーハとマスクはホルダーに固定され、スクラバーは基板上に一連の高精度のシブリー模様のストロークを開始します。その後、ロボットアームは基板とマスクをスクラバーから搬送し、ユーザーはそれらを絶えず取り除き、必要に応じてスクラビングプロセスを繰り返すことができます。8600は、ISO 14001および9001規格に準拠するために徹底的にテストされ、認定されています。また、そのコンポーネントは、スループットを最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるための高い信頼性を備えて設計されています。この完全なクリーニングソリューションは、ウェーハやマスクのスクラブや研磨に費用対効果の高い高品質ソリューションを必要とする半導体およびファブレス製造業界に最適です。