中古 SVG 8600 #9301997 を販売中
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SVG 8600は、平らな表面のウェーハやマスクをすばやく均一に洗浄するために設計された汎用性の高いウェーハおよびマスクスクラバーです。それは優秀なスペース利用および維持のための容易なアクセスを可能にする控えめなモジュールと組み立てられます。統合されたマルチベーン再循環ポンプにより、8600は優れたエッチング/クリーン選択性を可能にし、汚染物の蓄積を心配することなく1時間あたり最大500ウェーハを処理することができます。また、クローズドループシステムを備えているため、最適な処理パラメータの正確な自動監視とメンテナンスが可能です。SVG 8600は、タッチスクリーン対応HMIを介してユーザー制御を可能にし、迅速なリコールのために最大25のレシピを保存することができます。その高度な技術は、効率的なスクラブとエッチングによって高いスループットと低い廃棄物を提供するように調整されており、その自動校正機能により、生涯にわたって最適な性能が達成されます。8600はまた、調整可能なスクラビングヘッド、取り外し可能なスクラバー、および必要に応じてすばやく交換できるポリエステルスクラビングベルトを備えたメンテナンスのための完全なアクセシビリティを提供します。SVG 8600は非常に汎用性が高く効率的なウェーハおよびマスクスクラバーで、最も要求の厳しいフォトマスクやウェーハの準備ニーズにも適しています。その堅牢な設計は、1時間あたり数百枚のウェーハを常時使用して処理するのに最適です。また、使いやすいインターフェイスと自動校正機能により、最適な結果と長い耐用年数を保証します。これは、産業および研究の専門家にとっても最適な選択肢であり、廃棄物や汚染を最小限に抑えて迅速な処理を可能にします。
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