中古 SVG 8600 #9267068 を販売中

SVG 8600は、2つのウェーハを同時にスクラブすることができる高度なウェーハとマスクスクラバーです。SVS-VISTEK GmbHによって開発された高真空技術の専門知識を備えた8600は、半導体およびフォトマスク製造業界のお客様に信頼できるスクラブ機能を提供します。このスクラバーは、最大の洗浄性能を必要とするレチクル、フォトマスク、ウェーハ表面の洗浄に最適です。SVG 8600は、石英、SiC、ステンレス、セラミックなどの複数の種類の操作プレートをスクラブするように設計されています。柔らかい（繊維）ブラシと硬い（金属）ブラシの2つの独立したスクラビングチャンバーと6つのスクラビングヘッドを提供し、最大のスクラビング性能を提供します。ブラシの頭部は特定のスクラブの条件のために調節可能、スクラブのさまざまな深さのために手動で置くことができます。スクラバーにはKFフランジポートと取り外し可能なトッププレートが装備されており、サンプルの積み降ろしが容易です。スクラバーには、スクラバーの動作が必要な場合にオペレータに警告する統合されたオーディオ/ビジュアルアラーム装置がさらに装備されています。デジタル表示は容易な欠陥の見つけることのための作動状態を示します。スクラバーには、機密部品を流体汚染から保護するために設計されたフィルターシステムも備えています。このフィルタリングユニットは、安全性と効率を向上させながら、標準のウェットケミカルを置き換えるように設計されています。最後に、スクラバーには、正確なスクラブ温度を維持するために-20°C〜+60°Cの範囲に設定できる温度制御マシンが装備されています。8600で使用される高度な技術により、スクラバーは高品質で信頼性の高い洗浄結果を得ることができます。スクラバーは、ウェーハの損失を最小限に抑え、優れた再現性で、迅速かつ正確な動作を保証します。SVG 8600のスクラブ機能は、半導体およびフォトマスク製造業界の洗浄用途に最適です。