中古 SVG 8600 #9265350 を販売中

SVG 8600
ID: 9265350
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
Developer system, 6" 1995 vintage.
SVG 8600は、半導体業界の精密ウェーハ洗浄用に特別に設計・製造されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、スパッタリングやエッチングなどのプロセス手順の前にウェーハやマスクを洗浄するように設計されています。このスクラバーは、ウェーハ表面に直接適用される高圧スプレー技術を利用して、汚染粒子を除去します。スクラバーはウェーハ表面の完全な適用範囲を保障し、ウェーハを損なうことなく産業等級のクリーニングを提供します。8600は強力な600バー(8,700 psi)圧力装置を備えています。この高圧システムは調節可能なポンプユニットによって補完され、ユーザーは各ウェーハのためのクリーニング代理店の圧力そして容積をカスタマイズすることを可能にします。使用される洗浄剤は、材料を損傷することなく、ウェーハ表面から汚染物質を効果的に除去するように設計された特別に配合された混合物です。この混合物は、ウェーハ表面に環境に優しく、非腐食性であるように設計されています。クリーニングは、スクラバー独自のデュアルブラシマシンによってさらに強化されています。ブラシツールは、ウェーハやマスク表面を損傷することなく、壊れた繊維の先端などの破片を除去することができます。このスクラバーには、洗浄剤の温度調整アセットも備えており、ユーザーは温度を特定のプロセスに合わせて調整して有効性を最大化することができます。スクラバーは、8インチ(200mm)までのさまざまなウエハサイズに対応できます。スクラバーは、ウェーハ表面の適切かつ均一なカバレッジを確保するためにトラックモデルを組み込みます。スクラバーには、ウェーハとマスクの位置を追跡するセンサーも装備しており、洗浄プロセスの正確性を確保しています。スクラバーは安全性を考慮して設計されており、オペレータだけでなく、ウェーハやマスクを損傷から保護するための安全機能が組み込まれています。スクラバーの追加機能には、スクラバーの状態をリアルタイムで監視するための遠隔監視パッケージが含まれており、メンテナンスの問題に迅速に対応できます。SVG 8600ウェーハおよびマスクスクラバーは、プロセス手順前にウェーハおよびマスクを精密に洗浄するための信頼性が高く、効果的で効率的なソリューションです。ユーザーフレンドリーな機能、調整可能なクリーニングパラメータ、品質保証機能を備えたスクラバーは、半導体業界に産業用グレードのクリーニング機能を提供します。
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