中古 SVG 8600 #9265340 を販売中

SVG 8600は、SVG Automation ACMによって製造された自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。半導体製造および基板洗浄用に設計された先進的な装置です。8600は200mmまでのウェーハと600mm x 600mmまでのマスクサイズを扱うことができます。SVG 8600のロボットトラックは産業等級の鋳造アルミニウムから造られ、完全なウエハ及びマスクの処理のための精密ボールベアリングの線形スライドを含んでいます。高速電動トラックは、再現性の高い正確な基板転送を可能にします。このスクラビング処理は、8600のAccuJet®ノズル技術を使用して行われます。AccuJetシステムは、最適な洗浄性能を確保するために、カスタマイズ可能な圧力と持続時間の設定を提供します。SVG 8600は、より良いセルフメンテナンスを実現するために、ウェットスクラブ技術を採用しています。ふたを使用して蒸発を低減し、最適なスクラブ効率を確保します。内蔵の充填センサーは、外部タンクからDI水を収集します。8600はスクラブプロセスを監視し、フィードバックとデータ収集でリアルタイムに反応することができます。SVG 8600はまたスクラビング区域から粒子を集め、取除くことを担当する高性能の粒子の空気（HEPA）のろ過の単位を含んでいます。HEPAフィルターはスクラバーに直接取付けられ、他のスクラバーと比較される最低エネルギーおよび摩耗を消費する傾向があります。さらに、8600は、スクラビングパラメータを制御するために磁気バルブで設計されており、潜在的なスクラバー動作の問題を特定するために複数のセンサーが装備されています。SVG 8600には、正確な制御とパフォーマンス監視のためのオンボードコンピュータも含まれています。スクラビングパラメータ、ウェーハ、マスクステータスなどのデータを格納することができます。8600は、高度な半導体製造および基板洗浄に最適なスクラバーです。そのロボットトラック、AccuJetノズル機、HEPAのろ過、センサー、およびオンボードコンピュータは、正確な制御とデータ収集を保証します。SVG 8600は、最大600mm x 600mmのマスクサイズと200mmのウエハをスクラブすることができます。カスタマイズ可能な圧力と持続時間の設定により、最高の洗浄効果とパフォーマンスを得るための理想的なプラットフォームを提供します。