中古 SVG 8600 #9265338 を販売中

SVG 8600は、ClassOne Technologyによって開発された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。レチクル、ウェーハ、マスクなどのウェーハ加工に使用される重要な表面を効率的かつ正確に洗浄、洗浄、乾燥するように設計された高度な装置です。8600は、高エネルギーのUV光、強力な超音波洗浄アクション、穏やかなスクラビングアクション、および高速で信頼性の高い徹底的な洗浄を提供するための最終的な乾燥ステップを組み合わせた5段階のプロセスを備えています。スクラバーは、スクラビングステーションと乾燥ステーションの2つのセクションで構成されています。スクラビングステーションには自動的にプログラムされたクリーニングアームがあり、洗剤、超音波クリーニング、スクラブを組み合わせて効果的かつ均等にクリーニングします。ウエハーやマスク表面に残っている残留物や有機汚染物質を除去するために、オゾンすすぎを追加することにより、洗浄作用がさらに強化されます。システムの2番目の部分は乾燥ステーションです。このセクションでは、洗浄ステーションの洗浄サイクルの後に残った水または洗剤の残留物を迅速かつ効率的に乾燥させるために、強力でありながら穏やかな気流循環ユニットが使用されています。気流は調節可能で、最低の努力との望ましい乾燥の結果を達成するために置くことができます。SVG 8600には、包括的なデータロギングマシンが装備されており、クリーニング結果の詳細な追跡と監視、および特定のウエハおよびマスク特性の分析を可能にします。収集されたデータを使用して、将来のクリーニングプロトコルをカスタマイズして最適化されたクリーニング結果を得ることができます。さらに、このスクラバーはウェーハやマスクのサイズや形状を幅広く扱うことができ、オペレータが幅広い製品の製造においてこのツールを効率的に利用できる柔軟性を確保します。8600は、あらゆるウェーハ製造プラントに不可欠なツールです。その汎用性の高い処理機能、強力な洗浄および乾燥機能、および包括的なデータロギング資産を備えたスクラバーは、最新の半導体製造ワークフローにおける重要な洗浄プロセスに対して信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いソリューションを提供することにおいて比類のないものです。