中古 SVG 8600 #9265337 を販売中

SVG 8600は、機械的で完全に自動化されたウェーハとマスクスクラバーです。クリーンルーム環境において、さまざまなフラット、非多孔質ウェーハ、フォトマスク、その他の基板上で、正確で一貫した信頼性の高いクリーンサイクルを実行するように設計されています。この装置の主な目的は、あらゆる種類のウェーハやマスクの洗浄に必要な部品を提供することであり、液晶製造から高度な半導体プロセスまで幅広い業界に適しています。8600には2つの機械式スクラビングヘッドからなるスクラバーアームが装備されており、直径200mmまでのウェーハやマスクの再現性のあるスクラブを実行できます。さらに、このシステムは、そのサイズと重量のための利点を与え、単一のベースユニットに存在します。ベースユニットはまた、スクラバーアームをサポートし、操作を可能にするために必要な駆動および制御コンポーネントが含まれています。SVG 8600は、スクラブ部品に加え、水溶剤分散ユニットとして機能する調整可能なリンススプレーヤーを装備しています。調節可能なリンススプレーヤーは、ウェーハ/基板がスクラブ後のすべての汚染物質から完全に解放されることを保証します。さらに、8600の内部はステンレス鋼で構成されており、半導体グレードの水のろ過と蒸留を使用しており、スクラビングプロセス中に追加の粒子を追加することなく、最高レベルの清浄度と汚染制御を提供します。この機械はまたネットワークによって可能にされるタッチ画面のコントロールセンターを通して他のオペレータとインターフェイスするように設計されています。タッチスクリーンモニターは、オペレータとの使いやすいインターフェースを提供するように設計されており、マシンのサブシステムと機能を完全に制御できます。さらに、ユーザーは最大24のカスタマイズされたスクラビングプログラムをツールのレシピライブラリに保存できます。SVG 8600は、最小限のスペースを確保し、最小限の監視で動作するように設計されています。この資産は、最高800rpmのスクラブ速度に達することができます、まだ品質の結果を生成しながら。スクラブ圧力は、お客様の特定の要件を満たすためにも調整可能です。一貫した結果、迅速なサイクルタイム、およびエンベロープサイズを備えた8600は、基板に信頼性の高い正確なクリーンサイクルを提供しようとする企業にとって優れた選択肢です。