中古 SVG 8600 #9265334 を販売中

SVG 8600は、パッシベーション、エッチング、リソグラフィー、および堆積プロセスのための効率的な表面洗浄手段を提供するように設計された強力なウェーハおよびマスクスクラバーです。現在利用可能な最先端のスクラビングシステムの1つです。そのユニークなデザインは、品質とスピードの両方に重点を置いています。設計の面では、8600は操作の間に大きい安定性および信頼性を提供する鉄骨フレームを特色にします。スクラバーは、汚染物質を最小限に抑えるために、二重層の集塵装置、改良されたシール、および自動クリーニングフィルターで構築されています。スクラバーは、高級ブラシ付きの専用インラインスクラビングホイールを使用して、基板とマスクの両方を徹底的に洗浄します。スクラビングヘッドには、バネ付きダストカバーを備えた調整可能なアーム設計が採用されており、最大限のカバレッジと一貫した操作が可能です。スクラバーには、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えたカスタマイズ可能なロボティクス操作および制御システムがあり、スムーズで正確なクリーニングサイクルを保証します。スクラバーにはタッチスクリーンインターフェイスとデータロギングユニットがあり、クリーニングサイクル中に完全に制御できます。また、摩耗や破損を防ぐために、スクラビングヘッドの流れをランダム化する「ランダム操作」モードもあります。さらに、スクラバーにはオートフォーカスとオートロード機能があり、ウェーハを自動的に検出し、それに応じてフォーカスを調整することができます。SVG 8600のスクラビングホイールは、高い硬度と耐摩耗性を特徴とし、表面汚染物質を効果的に洗浄および除去することができます。また、洗浄プロセスをさらに改善するアンチガウジングとアンチスクラッチマシンを備えています。このツールはまた、スクラビングサイクル中の混乱を最小限に抑えるための低騒音操作を備えています。スクラバーは、優れた再現性と精度のために設計されています。静電気防止機構を備えており、静電気の除去に役立ち、洗浄工程中にウェーハやマスクを損傷する可能性があります。スクラバーには、操作中の基板の熱を最小限に抑えるアンチグローアセットもあります。8600は、高品質のクリーニングに理想的な強力で信頼性の高いウェーハとマスクスクラバーです。それは速く、有効、生産の出力を最大にするように設計されています。直感的なデザインと幅広い機能により、スクラバーは生産プロセスと結果を確実に改善します。