中古 SVG 8600 #9265333 を販売中

SVG 8600は、半導体製造プロセスで使用されるウェーハやマスクの自動洗浄ソリューションを提供するSVGディストリビューターによって開発されたウェーハおよびマスクスクラバーです。この装置は、有害な化学物質や手作業を含まずに、標準的なウェットベンチ環境内でウェーハやマスクを洗浄および表面洗浄するように設計されています。特許取得済みの超高速スクラバーを搭載し、研磨充填したスクラビングディスクを使用して表面から粒子を除去し、損傷なく汚染します。調節可能な速度とさまざまなスクラブ圧力を使用することにより、8600は柔らかいアルミニウムとシリコンウェーハからハードセラミックマスクまで、あらゆる種類の表面を洗浄することができます。一体型の真空および濾過ユニットにより、プロセス中にスクラブされた表面から破片を引き出すことができます。スクラバーにはデジタルコントローラが搭載されており、スクラブ圧力、スクラブ速度、濾過レベルなどのパラメータを簡単に設定および調整できます。各種センサーを搭載しており、メンテナンス作業が必要な場合はオペレータに注意を促します。スクラバーはラックに安全にロックされ、輸送と保管が容易で、標準的なウェットベンチ環境に収まるように省スペース設計されています。このツールは、信頼性が高く、費用対効果が高く、メンテナンスが容易なように設計されています。長期間のメンテナンスコストを削減し、最大5時間のスクラビングサイクルを持続できる厚くて耐久性のあるスクラビングディスクを使用しています。最後に、SVG 8600はすべてのSVGウェットベンチシステムと互換性があり、中断を最小限に抑えて既存の半導体製造プロセスに簡単に統合できます。