中古 SVG 8600 #9255092 を販売中
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SVG 8600は、集積回路の生産を支援する自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。デバイスを損傷することなく、表面粒子、汚染物質を安全に除去し、生産ウエハやフォトマスクの残留物に耐えるように設計されています。スクラバーには革新的なウエハハンドラがあり、丸型、正方形、不規則な形状のウエハーなど、さまざまな種類のウエハサイズを扱うように特別に設計されています。それはまた異なったミクロンの粒子サイズのための調節可能なフィルターが装備されています。スクラバーの主体は磨かれた終わりの耐久のステンレス鋼から成っています。また、クリーンアップソリューションを保持するための大容量タンクがあり、溶液の適切な流れを確保するための循環ポンプがあります。さらに、このマシンには高性能の多加工回転装置が装備されており、クリーニングソリューションとウェハの均一な接触を確保します。回転システムは、簡単かつ正確な操作を可能にするために、特別なユーザーフレンドリーなユーザーインターフェイスで設計されています。スクラバーは、一貫した洗浄精度を確保するために、高効率のろ過ユニットを使用して動作します。主なフィルタリングメカニズムには、有機および無機の両方の汚染物質の除去を可能にするケミカルフィルタマシンと、より大きな粒子除去のための粒子フィルターが含まれます。また、運転中に異物がタンクに入らないように、緊急シャットオフスイッチやフローモニターなどの安全機能も内蔵しています。さらに、スクラバーには高精度の温度計とサーモスタット制御システムが装備されており、最適な洗浄結果を得るために正確な温度調節を保証します。また、プロセス監視、トレーサビリティ、記録機能が内蔵されており、詳細な欠陥低減テストが可能です。これらの機能はすべて、工業生産設備の安全、迅速かつ効率的なパフォーマンスを確保するのに役立ちます。8600スクラバーは、信頼性の高い性能、精度、安全性レベルを提供する優れたウェーハおよびマスクスクラバーです。それはいろいろ産業適用のために適して、効果的に生産のウエファーおよびマスクを速くそして安全にきれいにするのに使用することができます。
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