中古 SVG 8600 #9186279 を販売中

SVG 8600は、SVG Lithographyによって開発されたウェーハおよびマスクスクラバーです。クリーンルーム環境向けに設計されており、半導体ウェーハやレチクル（マスク）の洗浄に最適です。8600は化学物質を含まないスクラビングプロセスを使用し、環境に優しい作ります。流体および化学的使用量が少なく、廃棄物を最小限に抑えます。スクラバーは独自のブラシスクラビングプロセスを使用して、製品から粒子や汚染物質を効率的かつ効果的に除去します。スクラブ効果を高めるために加圧洗浄液を使用しています。SVG 8600スクラバーには3段階の洗浄プロセスがあります。まず、加圧された液体を製品に塗布し、粒子や汚染物質を緩めて中断します。次に、製品に対して剛毛の平面が回転してそれをスクラブし、破片と粒子を除去します。最後に、残りの粒子を洗い流すために一連の流体ジェットが使用されます。スクラバーはまた、基板から余分な液体を除去するために強制空気乾燥を使用します。8600は信頼性のために設計されています、集中的な洗浄プロセスへの露出によって引き起こされる腐食を防ぐために金属部分に適用される保護コーティングと。これは、スクラバーが最大限の効率で動作するようにするのに役立ちます。スクラバーは非常に正確で正確であり、その洗浄能力は長年にわたって慎重に最適化されてきました。最大200mm、厚さ0。5 mmのウェーハやマスクの加工に使用でき、最小フィーチャーサイズは0。02ミクロンです。SVG 8600には多数のデジタルセンサーが搭載されており、ウェハID、基板平坦度、曲率半径などの測定が可能です。スクラバーは、遠隔監視およびデータロギング用のさまざまなソフトウェアシステムと互換性があります。スクラバーの操作は直感的で、最小限のユーザートレーニングが必要です。高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、さまざまなプロセスに対応するカスタマイズ可能なプリセットが用意されています。スクラバーにはオプションのモジュラー構成もあり、より柔軟なワークフローが可能です。全体として、8600はクリーンルーム環境の要求に応えるように設計された効率的で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーです。それにそれらの時間の重大な適用のために完全な速いスクラブ周期があります。