中古 SVG 8600 #9139668 を販売中

SVG 8600
ID: 9139668
ウェーハサイズ: 6"
Coater / Developer systems, 6".
SVG 8600は、半導体、マスク、その他の繊細なウェハを徹底的かつ効果的に洗浄するように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、ウォータージェット、Iastarフォーム、および化学添加物のユニークな組み合わせを利用して、ウェーハとマスクの表面から汚染物質を吹き飛ばします。8600はいくつかのコンポーネントで構成されています。ユニットの中心には、一連のノズル、こぼれトレイ、ポンプで構成される洗浄基板があります。ノズルは基板全体に配置され、高圧ウォータージェットを提供します。ウォータージェットは、Iastarフォームと化学添加剤と組み合わせて、効率的に分解し、ウェーハ/マスク表面から頑固な粒子や汚染物質を除去します。その後、流出トレイは粒子と汚染物質を収集し、ポンプはクリーニングメディアを再循環させるのに役立ちます。SVG 8600はまた、ユニークなクリーニングサイクルを備えています。サイクルの開始時に、加圧された熱い水が基板からウェーハ/マスク表面に押し込まれ、下向きに強制的に回収トレイに押し込まれます。Iastarの泡は「接着剤」のように機能し、困難な汚染物を分解し、ウェーハ/マスクの表面からそれらを掃除します。最後に、基材に化学添加剤を塗布し、時間をかけてウェーハ・マスク表面の洗浄・消毒を行います。サイクルが完了すると、残りの汚染物質はデバイスから簡単に除去されます。操作面では、8600は非常に使いやすいです。このユニットのユーザーフレンドリーなインターフェイスは、迅速なセットアップを可能にし、明確なLCDディスプレイは関連するすべての情報を表示します。高度なモーションセンシング技術により、スクラバーは静止オブジェクトを自動的に認識し、それに応じて調整し、一貫した正確な結果を保証します。最後に、SVG 8600は非常に耐久性があり、長く信頼できるサービスを提供するために信頼することができます。このユニットは衝撃、振動、極端な温度に対して非常に耐性があり、作業環境がそれに投げる可能性があるものは何でも処理できます。さらに、頑丈な設計のため、スクラバーを現場に簡単に設置してサービスすることができ、特定の要求の厳しいアプリケーションに最適です。
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