中古 SVG 8600 #293827972 を販売中

ID: 293827972
ウェーハサイズ: 4"
Coater system, 4" Silicon Carbide (SiC).
SVG 8600は、半導体生産に使用するために設計された産業用ウェーハおよびマスクスクラバーです。高度な超音波洗浄技術を採用しており、フォトマスクからの粉塵の洗浄、洗浄、除去に優れた性能を発揮します。最大6つのラックと860mmの幅で、より大きなフォトマスクだけでなく、小さなダイや大面積フォトマスクにも対応できます。高度な超音波洗浄技術と特許取得済みのシーリング装置を使用して、8600は使用される液体と溶剤を最小限に抑えながら優れた洗浄力を提供します。この特徴は敏感な電子工学の基質のためにそれを理想的にさせます。スクラバーは、標準的なSC-1タイプの洗浄剤で満たされたタンクを通過する高周波、低い振幅の音響波を使用します。これにより、ウェーハとマスクの表面から粒子、汚染物質、その他の不純物を除去する、数百の小型で高効率で自立した洗浄ソリューションが作成されます。埋め込まれたウェーハ制御システムおよびタッチ画面はスクラビング力の精密な制御を提供し、ウェーハの監視はリアルタイムで行われ、必要に応じてパラメータを調節することを容易にします。スクラバーには非接触のハイドロレール洗浄ユニットもあります。つまり、洗浄プロセスの排水はハイドロレールのタンクに集められ、使用される水と溶媒の量を減らします。SVG 8600は、小型金型からジャンボフォトマスクまで、あらゆる種類のフォトマスクに対応できる大型のFDA準拠材料チャンバーを備えています。正確なスクラビングと長期的で信頼性の高い性能を確保するために、スクラバーには強力な三相真空ドライブロールも装備されています。全体として、8600は高効率で正確で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーです。工業生産に最適です。それは高度の超音波洗浄技術、特許を取られたシーリング機械、非接触ハイドロレールの洗浄用具、FDAの迎合的な物質的な部屋および強力な三相真空ドライブロールのようなさまざまな特徴そして機能が、装備されています。これにより、水と溶媒の廃棄物を最小限に抑えて、フォトマスクから塵を迅速かつ効果的に洗浄、洗浄、除去することができます。
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