中古 SVG 8600 #293827968 を販売中

SVG 8600は、SVGが薄膜の洗浄およびエッチング用に設計した高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。この装置は、一連のブラシ、ジェット、圧力ノズルを使用して薄膜基板を移動および清掃し、重要な表面から粒子、汚れ、その他の汚染物質を除去します。スクラバーは、ポリシリコン、複合材料、ポリマー、金属、導体などの幅広い材料で表面を洗浄するために使用できます。8600スクラバーはカスタマイズ可能なウエハパスを備えており、さまざまなサイズ、形状、厚さの基板に対応できます。スクラバーには、さまざまなスクラビングパラメータとカスタマイズ可能なブラシ構成があり、さまざまなアプリケーション要件に対応できます。スクラバーは、最適な洗浄と高い歩留まりを保証する振動制限機能を備えて設計されています。スクラバーには、ユーザーがスクラビングジェットの乱流を制御することができるガス制御機能が装備されています。これにより、薄膜基板の均一で完全な洗浄が可能になります。スクラバーには、ユニット内の汚染レベルが低いままであることを確認するために空気中の汚染物質を除去する空気ろ過システムも装備されています。スクラバーにはスラリーマシンも含まれており、ウェットエッチング時の汚染リスクを低減します。スクラバーには、スクラブプロセスが始まる前に部品のサイズ、形状、位置を正確に測定するための統合された部品検出ツールがあります。これは、正確なエッチング処理を確実に行うのに役立ちます。スクラバーには、さまざまなレベルのスクラブを可能にする調整可能なブラシとジェット機があります。調節可能なブラシとジェット機の組み合わせは、より徹底的で均一なエッチングプロセスを提供します。スクラバーには、安全を確保するための緊急シャットオフスイッチも装備されています。結論として、SVG 8600は、薄膜エッチングおよびクリーニングアプリケーションの最も要求の厳しい要件を満たすように設計された高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。この資産は、信頼性と均一なエッチングを確保するためにカスタマイズ可能な機能とスラリーシステムの範囲を備えています。スクラバーには、統合された部品検出モデル、調整可能なジェット機とブラシ、および安全のための緊急シャットオフスイッチも含まれています。