中古 SVG 8600 #293827938 を販売中

SVG 8600は、あらゆるタイプの半導体およびその他の基板の信頼性の高い高性能スクラブ、クリーニング、および表面処理を提供するように設計されたプロフェッショナルグレードの自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。この装置の独特な設計は1つの統合されたシステムの下で必要なすべてのスクラブ、クリーニングおよび表面の準備機能を結合します。8600は、2台のスクラビングロボットとクリーニングロボットで、完全に自動化されたモードで動作します。ロボットは、100〜450mmのさまざまなウェーハサイズに対応できます。スクラバーは独立して移動する2つのテーブルで構成されており、複数の基板を同時にクリーニングできます。本機には裏面保護装置を内蔵しており、基板の底面が汚染から保護されています。スクラバーには、金属ブラシや高速スピナーなど、スクラブやクリーニングのための複数のツールがあります。ブラシは、基板表面から粒子状物質を効果的かつ効率的に除去するように設計されています。スピナーは高速で基板の表面を移動させ、任意の粒子をこすり、緩めます。このツールはまた、大容量の流体ディスペンサーを備えており、ユーザーは幅広い洗浄ソリューションを分配することができます。それは脱脂、酸化、クリーニング、およびエッチングのための解決を分配できます。さらに、それはまた、水と油のための洗浄液を分配することができます。スクラバーの表面処理能力には、機械的エッチング、化学的ウェットエッチング、プラズマエッチングなどのさまざまな技術が含まれます。これにより、ユーザーは、基板の表面に所定のパターンを正確にエッチングすることができます。SVG 8600には、さまざまな安全機能も含まれています。安全カバーやインターロック機構、フラッシュシステムやリーク検知システムを自動化し、資産の安全性を最適化しています。8600は、効率的で効果的なマスクとウェーハスクラブ、クリーニング、および表面処理を提供するように設計された高性能で自動化されたモデルです。SVG 8600は、スクラビングロボットとクリーニングロボットを一体化し、幅広いクリーニングソリューションを提供し、さまざまなエッチング技術を実行することができます。