中古 SVG 8600 #293827718 を販売中

SVG 8600は、クリーンルームのスクラビングプロセスをより迅速かつ効率的にするように設計された高性能の半自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。幅1790mm×奥行き1260mm×高さ1440mmのコンパクトな防塵ユニットで、あらゆるクリーンルーム設置に適しています。スクラビングチャンバーは、最大200ミリメートルの最大8つのウェーハおよび/またはマスクを自動的にクリーニングするように設計されています。スクラビングプロセスはユーザーフレンドリーなカラータッチスクリーンディスプレイを介して開始され、操作が簡単で直感的です。スクラバー内では、2組のスクラビングパッドが反対方向に回転し、ウェーハとマスクを攪拌して徹底的に清潔にします。パッドはセミコンダクターグレード（SGS）エラストマー製で、ウェーハとクリーニングパッドの間の結合が強化されています。8600には、濾過空気供給、排気ポート、スクラビングメディア貯水池、スクラビングメディア乾燥ラック、スクラビングプロセス用の液体風呂などの機器コンポーネントも含まれています。この濾過システムは、高効率の粒子フィルタと高効率のデュアルバッグフィルターを組み合わせたものです。スクラビングメディアは簡単かつ便利に変更することができます。この貯水池には、バクテリアの増殖を最小限に抑え、化学物質を分解するための加熱ユニットも装備されています。特許取得済みの再循環ループ内のベンチュリマシンは、スクラビングチャンバーへのスクラビングメディアの一定の一貫した供給を維持するのに役立ちます。SVG 8600はまた、高圧噴霧器、およびスクラバーの洗浄性能を向上させるように設計されたガスおよびオスモメーターソルビライザーなどのアプリケーションを備えています。さらに、温度と湿度を一体化したコントローラを搭載し、マニュアルスクラブの安定した安全な環境を確保します。このスクラバーは使いやすいGUIを提供しており、ユーザーは最大50種類のプログラムサイクルと100種類のデータセットを格納できます。また、データの整合性を維持するためのいくつかのセキュリティオプションも含まれています。安全機能の追加として、8600は内蔵の緊急シャットオフスイッチを利用しています。SVG 8600は、クリーンルーム環境でウェーハやマスクを洗浄するための費用対効果と信頼性の高いソリューションです。基板の洗浄と加工を簡単かつ効率的に行うことができ、クリーンルームのダウンタイムを削減できます。直感的なユーザーインターフェイスと強力なスクラビング機能により、8600はクリーンルームのスクラビングアプリケーションに最適です。