中古 SVG 8600 #293758627 を販売中

SVG 8600は、Speed Vac Group （SVG）が開発・製造した自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。8600は、高度なロボティクスとオートメーションを提供するように設計されており、ウェーハおよびマスクスクラブ操作の効率的で信頼性の高いパフォーマンスを可能にします。SVG 8600は、最大直径18インチの大型ウェーハに対応するように設計されており、一度に最大8個のウェーハを処理できます。さまざまな操作に柔軟性を提供し、8600は最大2つのロータリースクラブヘッドと2つの高圧シャワーヘッドで構成できます。スクラブヘッドとシャワーヘッドは、ユーザーフレンドリーなPLCソフトウェアと統合フレームによって制御され、正確な制御とスクラブとシャワーアームの正確な配置を提供し、効果的な洗浄と処理を可能にします。SVG 8600はコンパクトで人間工学に基づいた設計で、ウェーハやマスクを小さなフットプリント内で加工できます。スクラバーは、1つのリンスタンクとオプションのアイソレートタンクを含む最大4つのプロセスタンクを使用して、最大4つの同時プロセスの効果的な洗浄を可能にするように設計されています。プロセスタンクには濾過システムが装備されており、洗浄液が継続的に循環し、不要な粒子を除去し、一貫した化学濃度を確保します。タンクには、化学物質が不足しているとき、または交換が必要なときに検出できる低レベルの化学検出装置も装備されており、必要に応じて化学レベルを置き換えることができます。さらに、8600には、デュアルステージのフェイルセーフセーフシステムとEMI （Electro Magnetic Interference）免疫が含まれています。安全ユニットは、2つの安全システム（SVG OSHA準拠の安全マット、および業界標準の安全装置）を組み合わせて、スクラブヘッドとシャワーアームが常に正しい位置に保たれ、オペレータの怪我を防ぐのに役立ちます。EMI免疫は、静電的および電気的障害から機械を保護し、データと貴重な機器を干渉から保護するのに役立ちます。全体的に、SVG 8600ウェーハとマスクスクラバーは、さまざまな操作に正確で信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計されています。精密なロボティクス、統合フレーム、強力なろ過ツール、および堅牢な安全システムにより、8600は高度な洗浄および処理操作に最適です。