中古 SVG 8600 #293758581 を販売中

SVG 8600は、ウェーハおよびマスクサーフェスを効率的に洗浄して準備するために設計された自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーは、ロータリーブラシ装置を使用して、金属粒子や金属酸化物などの表面汚染物質やフォトレジスト残留物を除去することができるスクラブ作用を適用します。ロータリーブラシは、繊細なウエハやマスク表面を損傷することなく、クリティカルエッジセクションからの残留物を完全かつ均一に除去します。これにより、手作業によるスクラビングが不要となり、コスト効率の高い生産プロセスが実現します。スクラバーには、デュアルブラシ、一般的な使用のための標準ブラシ、および粗いまたは困難な用途のための特別なブラシが装備されています。スタンダードブラシは優しいスクラブアクションを提供するように設計されていますが、特別なブラシのスクラブアクションはスタンダードブラシの最大10倍の強度です。これにより、スクラバーは最も過酷な残留タイプをターゲットにすることができ、ウェーハまたはマスク表面をきれいにし、追加の処理に十分に準備します。スクラバーには最大6リットルのクリーニングタンクがあります。これにより、スループットと効率を目的に複数のウェーハまたはマスクを同時に使用できます。このスクラバーは、湿式洗浄とドライクリーニングの両方が可能で、幅広い基板や用途に適しています。スクラバーには、クリーニングタンクにウェーハとマスクを搬送するコンベアが含まれています。コンベヤーベルトは調節可能で、スクラブの動きを正確に制御できます。ベルト速度は0〜600rpmまで設定可能で、スクラブ動作を制御できます。スクラバーは、スクラブ操作を監視および制御する独自のマイクロプロセッサ制御システムによって駆動されます。このユニットは、警告機能とアラーム機能を備えた自己診断機、および高度なタイマベースのジョブスケジューリングツールを備えています。全体的に8600は、正確で効率的な基板調製を可能にするように設計された強力で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーです。デュアルブラシ、調節可能なコンベア、マイクロプロセッサ制御資産の組み合わせにより、多くのウェハおよびマスク洗浄アプリケーションに理想的な機器となります。