中古 SVG 8600 #293758579 を販売中

SVG 8600は、ウェーハおよびマスクスクラバーであり、SVGの先進的なドライウェットクリーニング装置です。このシステムは、今日のマイクロリソグラフィ集約型半導体およびフラットパネルディスプレイ（FPD）生産ライン向けに、効率的で再現可能な洗浄と最適化された処理を提供します。クラス1のハードエンクロージャとサイドローディング機構を備えており、フラットまたはカセットのいずれかのフォーマットでウェーハとマスクの両方の基板に対応できます。スクラビングプロセスは、ウェーハまたはマスク基板の表面から粒子、フィルム、残留物を除去するために最適化された特許取得済みの大気圧力プラズマジェットから始まります。このプラズマジェットは、銅やアルミニウムなどの高荷電金属を除去するプロセスを可能にする表面電荷を開発します。次に、化合物スクラブ技術は、排他的な潤滑剤と組み合わせた積極的な機械的運動を使用して汚染物質を除去し、より効果的なクリーンを実現します。スクラビングプロセスをさらに強化するために、8600は多段式洗浄を備えています。この洗浄は、現在市場で入手可能なすべての単段ユニットよりも、より完全で徹底的な洗浄を提供するために、高圧脱離スプレーを使用しています。スプレーは基質の全表面をカバーするように設計されている高度なノズルのバンクから解放されます。SVG 8600は、洗浄機能の強化に加えて、洗浄プロセスを監視および制御するためのさまざまな精度測定機能も備えています。このマシンは、接触間隔とウェーハ径の両方の測定と、正確なプロセス制御を可能にするエッジトラッキングツールを備えています。最後に、8600には広範なソフトウェア機能があり、既存のプロセス制御アーキテクチャに簡単に統合できます。リピートクリーンセル（RCC）サブシステムソフトウェアは、クリーニングプロセスを自動化するだけでなく、データの収集と分析を容易にし、実行から実行までの信頼性と一貫した結果を保証します。このようにして、あらゆるタイプの基板およびアプリケーションで最高品質の洗浄を保証します。全体的に、SVG 8600は、品質を最大化し、サイクルタイムを最小限に抑えるように設計された強力で正確なスクラビングアセットを提供します。高度な洗浄プロセスと広範な測定により、クリーンで一貫した表面仕上げと優れた信頼性と再現性を提供します。8600はあらゆるマイクロリソグラフィー集約的な生産ラインに最適です。