中古 SVG 8600 #293758578 を販売中

SVG 8600はクリーニングおよび欠陥の点検のために使用される高性能のウエハおよびマスクのスクラバーです。それは直径300mmまでのウエハをきれいにし、点検するのに高度の空気ナイフおよび高解像度の超音波の超音波洗剤の組合せを利用します。自動化された高速モーションコントロール装置と統合されたコンピュータコントロールシステムにより、8600はわずか数秒で大規模な高欠陥エリアを安全かつ正確にスクラブすることができます。SVG 8600の超音波の超音波洗剤はそれが効果的に正確さのさまざまな表面をきれいにすることを可能にし、最も小さく、最も困難な点をきれいにすることができます。マシンシェルの防音チャンバーと防音のおかげで、騒音レベルは最小限に抑えられます。エアーナイフはディープクレンジングを提供し、基板から粒子、ほこり、その他の汚染物質を簡単かつ均一に除去できる加圧エアジェットを備えています。マスクスクラビングプロセスは、写真の欠陥や不要な粒子を正確に検出する密接な間隔のあるデュアルスキャンLEDで管理されています。調整可能な倍率範囲で、8600はクリアなビジュアルと自動マスクスクラブで詳細な検査を可能にします。操作安全のために、SVG 8600には信頼性の高いウェーハおよびマスク保護システムがあり、スクラブおよびクリーニングプロセス中にウェーハとマスクが損傷しないようにします。また、モニタリングユニットなどの安全機能や、専用の安全ソフトウェアを搭載しています。これは、スクラビングプロセスを保護し、人員の取り扱いと維持に潜在的な危険を防ぎます8600。SVG 8600マシンは、高速かつ信頼性の高いウェハクリーニングと欠陥解析プロセスで、強化されたスクラブ機能を提供します。これにより、データセンターおよび製造工場、ならびに学術および研究機関において不可欠なデバイスとなります。さらに、効率的で費用対効果が高く信頼性の高いツールでもあり、最大の歩留まりと最小回転時間を確保してクリーニングと検査作業を行います。