中古 SVG 8600 #293670285 を販売中

SVG 8600は、製造中に基板やその他の部品から粒子や粒子の汚染を除去するための迅速なソリューションを提供する自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。この高度な洗浄装置は、3つの別々の技術を利用した独自のスクラビングシステムを使用して、追加の化学薬品や溶剤を必要とせずに高度な洗浄サイクルを作成します。スクラビングユニットは、ダイレクトビューリソグラフィを使用して、粒子を正確に識別し、基板表面からの汚染を攪拌するための高応力の機械スクラブ、および固定された粒子を除去するための超音波を使用します。洗浄プロセスの結果は、パーティクルマッピングを介して監視され、すべての汚染物質が単一のスクラビングサイクル内で除去されていることを確認します。8600は全面処理機能を備えており、基板のすべての表面にわたる包括的な汚染除去を可能にします。スクラビングマシンは、洗浄される各基板のサイズ、表面積、形状に合わせた正確な洗浄サイクルと関連付けられた洗浄時間を提供します。このツールは、表面や複雑な形状の部品を洗浄する場合でも、適切な粒子除去を維持するように設計されています。スクラバーには、ウェハハンドリングアセットやエッジクリーニング機能などのクリーニングツールも含まれており、最も完全なクリーニングを可能にします。また、モーション制御装置を搭載した安全で効率的な操作が可能な設計となっており、スクラバーが基板の固定部に触れるのを防ぎます。直感的なユーザーインターフェイスにより、幅広いスクラビングプログラムに簡単にアクセスでき、オペレータはスクラビングアクションの正確な強度を制御できます。SVG 8600は、化学洗浄または手動洗浄ソリューションに必要なわずかな時間で基板から粒子を除去するための堅牢で信頼性の高い性能を提供するように設計されています。この自動スクラバーは、半導体、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス産業など、さまざまな製造アプリケーションでの使用に適しています。生産設備とクリーンルーム設備の効率と性能を最適化しながら、安全でクリーンな製造環境を確保するのに役立ちます。