中古 SVG 8600 #293652301 を販売中

SVG 8600は、半導体プロセス中のウェーハやマスクを洗浄するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。これは、低振動、高トルクモータによって駆動され、ステンレス製のクリーニングタンク、超音波トランスデューサアレイ、および往復クリーニングアームを含む個別のモジュールの配列が含まれています。洗浄タンクは、ケミカルクリーニングの主要コンポーネントとして機能し、自動化されたケミカルインジェクション装置とケミカルストレージコンテナで構成されています。このシステムにより、選択した化学物質を洗浄タンクに追加することができ、プロセス中にケミカルアシスト洗浄を確実に行うことができます。さらに、タンクは最大300mmのサイズのウェーハを収容することができます。超音波トランスデューサアレイは、スクラビングユニットの主成分として機能します。活性化すると、トランスデューサは小さな高周波振動の流れを作り、ジェット充填された洗浄液を通して投影されます。この流体は、ウェーハ表面から汚れやその他の物質を除去するのに役立ちます。最後に、往復クリーニングアームを使用して、ウェーハをタンク上に前後に移動させ、表面全体をクリーニングします。このアームは、最大300mmの複数のウェーハを持ち運ぶことができ、プロセス中に50mmまで移動することができます。要約すると、8600ウェーハとマスクスクラバーは、ウェーハとマスクから汚染物質を除去する目的で複数のインタラクティブモジュールを使用する高効率のマシンです。スクラバーは低振動、高トルクモータで駆動され、自動化された化学注入機、超音波トランスデューサアレイ、および往復クリーニングアームを備えています。使用時には、これらのコンポーネントが連携してウェーハとマスクの表面をきれいにし、迅速かつ効率的な半導体プロセスの生産を可能にします。