中古 SVG 8600 #293652282 を販売中
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SVG 8600は、電子部品の製造前に半導体ウェーハおよびフォトマスクの洗浄を支援するウェーハおよびマスクスクラバーです。ウェーハやマスクの表面を素早く効果的に洗浄し、ダメージや汚れを最小限に抑えます。8600は2つのスクラビングカセットを使用し、それぞれ2つのスクラビングステーションが含まれています。ボトムカセットには、研磨粒子、ロータリーブラシまたは結晶を含む大きな円形スクラビングチャンバーがあり、ウェーハやマスクを効果的かつ効率的にスクラブすることができます。上部カセットには二次スクラビングステーションがあり、洗浄液をウェーハやマスク表面に塗布する噴霧システムがあります。スクラビングプロセスは、底カセットのメインスクラビングチャンバーにウェーハまたはマスクを配置することから始まります。チャンバーが回転すると、スクラビングメディアは遠心力によって内側に運ばれ、すべての表面を効率的に洗浄できます。スクラブが完了したら、上部カセットのネブライザーを作動させ、ウェーハまたはマスクの表面に洗浄液を噴霧します。この液体は、すべての表面が完全にきれいであることを確認するために、超低流真空によって除去されます。SVG 8600には、スクラビングプロセスを正確に制御するデジタルコントローラが装備されており、一貫した結果とオーバースクラビングを提供しません。さらに、スクラバーには安全システムが内蔵されており、潜在的な危険や誤動作を検出した場合に自動的に機械をシャットダウンし、損傷や事故のリスクを最小限に抑えます。結論として、8600は非常に効果的で効率的なウェーハおよびマスクスクラバーであり、半導体部品の迅速かつ一貫した洗浄を提供し、損傷や汚染を最小限に抑えます。デジタルコントローラと安全システムにより、SVG 8600は最適な性能と安全性を保証し、最高級のウェーハとマスクの品質を保証します。
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