中古 SVG 8600 #293586853 を販売中

SVG 8600は、フォトリソグラフィで使用されるウェーハやマスクの表面をきれいにするように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。繊細な表面から汚染物質を除去するために、優しい研磨性のスクラビングモーションを利用した自動化装置です。8600は自動化されたユーザーフレンドリーなシステムで、ウェーハやマスクを洗浄するプロセスを合理化するように設計されています。スクラバー素子を正確に移動させるためのプログラマブルロジックコントローラを装備しており、スクラブに最適な速度と角度を備えています。また、ウェーハやマスクの熱による損傷を防ぐため、温度調節も可能です。SVG 8600のスクラブ処理は、通常、イソプロピルアルコール（IPA）と脱イオン水の溶液で行われ、ほこり、粒子、有機フィルムなどの汚染物質を緩めて除去します。それは超柔らかく、高級なナイロン織りのスクラブパッドと平らな表面か曲げられた表面の両方を洗浄することができます。ユーザーは、スクラブの方向、速度、圧力など、特定のプロセスの要件を満たすために、スクラバーのアクションをカスタマイズする機能を持っています。8600はまた、洗浄された汚染物質を収集してフィルタリングする別の自動排水回収および濾過機を含んでいます。廃水は、廃棄物を最小限に抑え、資源を節約するためにリサイクルされ、再利用されます。SVG 8600には、簡単な操作のために設計された大きなユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが付属しています。また、運転中のオペレータの安全を維持するように設計された大型安全ケージ、マイクロスイッチ、ライトグリッド保護など、さまざまな安全機能を備えています。8600は、フォトマスク、レチクル、基板などから汚染物質を除去するのに理想的で、フォトリソグラフィープロセスを開始するために最高レベルの清潔性を確保します。これは、効率的で反復可能で一貫したスクラビングプロセスを確保するために設計された信頼性が高く、費用対効果の高いツールです。