中古 SVG 8020 / 8120 / 8620 SSC #82960 を販売中

SVG 8020/8120/8620 SSCは、クリーンで乾燥した粒子のない表面を提供するように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーシステムです。このスクラバーは、金属粒子、ほこりの粒子、および生産歩留まりに影響を与える可能性のあるその他の異物を除去することによって、汚染物質のない表面が生成されることを保証するのに役立ちます。半導体、フラットパネルディスプレイ（FPD）、光学デバイス、マイクロ電子デバイスなど、さまざまな業界で使用されています。8020/8120/8620 SSCスクラバーにはデュアルスクラバーヘッドが装備されており、各ハウジングには2つのクリーニングユニットと2つの独立したフィルターがあります。これにより、迅速かつ徹底的なウェーハとマスクスクラブが可能になります。スクラバーヘッドには、濡れた面と乾いた面の両方で使用するための2つの独立したウェットアームとドライスクラブがあります。カウンター回転スクラブアームは、すべての面で穏やかで効率的なスクラブアクションを提供します。2つのスクラブアームに加えて、SVG 8020/8120/8620 SSCには、洗浄スプレーと洗浄剤の選択が装備されています。これらは、ベア基板、ポリシリコン、または他の材料であるかどうかにかかわらず、洗浄される表面のタイプにカスタマイズできます。スプレーとリンス溶液は、制御可能なノズルによって提供され、さらにスクラブ効率を高めます。8020/8120/8620 SSCは、周囲環境と真空環境の両方で動作するように設計されており、多種多様な製造、ウェットエッチング、およびストレージアプリケーションで使用できます。また、エアパージドノズルを装備し、クリーンで汚染のない環境を実現し、真空環境や温度管理環境にウェーハを配置する際の汚染リスクを低減します。これは、信頼性の高いパフォーマンスと一貫した歩留まりを確保するのに役立ちます。SVG 8020/8120/8620 SSCスクラバーは、汎用性と使いやすさのために設計されています。直感的なタッチスクリーンディスプレイと直感的なユーザー入力により、セットアップと操作が簡単かつ効率的になります。その結果、生産環境、実験室、研究環境での使用に適しています。8020/8120/8620 SSCは、スクラブ、スプレー、洗浄を迅速かつ効率的に行うことができるため、あらゆる生産設備にとって貴重な資産です。