中古 SVG 600 HT Micralign #293655054 を販売中
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SVG 600 HT Micralignは、半導体製造の基板を洗浄および整列するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは600°C （1112°F）までの温度に耐えることができる高温適用のために最大限に活用されます。これは、回転運動と調整可能な洗浄圧力と角度の組み合わせを使用して、繊細な表面を損なうことなく、マスクやウェーハからの汚染物質や粒子を効果的に除去するように設計されています。スクラバーは、高度な電子プラットフォームを備えており、高効率で基板を正確かつ繰り返し洗浄する精密プログラミングを可能にします。内部顕微鏡は、洗浄プロセスの精密な目視検査とフィードバックを可能にします。スクラバーは、クリーニングヘッド、ロータリードライブ、検査/モータリングプラットフォームの3つの主要コンポーネントで構成されています。クリーニングヘッドには、デュアル同軸研磨ブラシの配置が組み込まれています。クリーニングの頭部の調節可能な圧力そして角度によって助けられる、二重研摩のブラシをかける行為は基質の端に粒子をずっと取除きます。ロータリードライブは、クリーニングヘッドの動きに電力を供給するために使用され、基板上で正確なクリーニングモーションを実行することができます。ロータリードライブは、信頼性が高く、加速して最大10,000RPMの速度で迅速かつ効果的に洗浄できるように設計されています。検査・監視プラットフォームにより、内部顕微鏡による洗浄工程の精密な目視検査が可能です。また、クリーニングプロセス全体で使用されるパラメータのデータロギングと分析も可能です。全体として、600 HT Micralignは、高温用途向けに設計された高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。精密で信頼性の高い洗浄のために設計されており、メーカーは一貫して高品質の基板を製造するために必要な性能を提供します。
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