中古 SVG 18 DWC #9166234 を販売中

SVG 18 DWCは、高圧ダイナミックウェハチャックとマスクスクラバーの強力な組み合わせで、コンディショニングされた半導体デバイスに使用されます。その極端な柔軟性と印象的な機能は、さまざまな要求の厳しいスクラビングやコンディショニング作業に最適です。SVG 18DWCの中核は、マスクスクラバーと一体化した高圧・高速ダイナミックウェハチャックです。ウエハチャックは、複数の接点と複数の運動方向を介してウエハークリーニングとコンディショニングを可能にする超精密な3軸モーションコントロール装置で動作します。高度なモーションコントロールシステムは、スクラビングプロセスが高精度で反復可能であることを保証します。スクラブとコンディショニングを最大化するために、ウエハチャックにはいくつかのノズル構成が装備されており、同時に調整可能なさまざまなスクラブ形状、速度、深さを提供します。これらのノズル構成により、さまざまなウエハサイズとアプリケーションに対応できます。18 DWCのスクラバー成分は、パルススプレー技術を備えており、15psigの最大圧力で正確かつ再現性のあるスクラブを提供することができます。乾燥操作は完全なプロセスを保障するために強制空気流れによって達成されます。18DWCは、2つの摩擦センサの真空係数と極端な再現性により優れた性能を提供するオールインワンソリューションです。センサは、スクラブやコンディショニング時にウェーハ表面の充電と摩擦比を監視します。これにより、ウェーハ表面が均等に分布し、プロセスの欠陥につながる可能性のある傷を防ぎます。オペレータに優しいインターフェイスは容易なセットアップおよび変数選択を可能にします。さらに、スクラブと乾燥プロセスは、スクラブと乾燥プロセスを簡素化するプリセットレシピを備えています。全体的に、SVG 18 DWCは、優れた性能を持つデバイスのための最高品質のスクラブとコンディショニングを提供します。その印象的な柔軟性は、さまざまなスクラブ形状、速度、深さを提供します。さらに、そのユーザーフレンドリーなインターフェイスは、マシンを使いやすくし、維持します。