中古 STEAG HAMATECH ASC 500 #9014078 を販売中

STEAG HAMATECH ASC 500は、さまざまな半導体製造プロセスで使用するための費用対効果の高い高性能ウェーハおよびマスクスクラビングソリューションを提供するように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーは、任意のデバイスのウェーハとマスク表面が適切に洗浄されるように、最大25万RPMを達成することができます。スクラバーは2つの独立したスクラビングヘッドを備えており、それぞれ独自の独立したブラシサイズと調整可能なスクラブ圧力を備えています。また、スクラビングヘッドは、ウェーハ表面のどちらの方向にも最大60リニアのスクラビングが可能です。スクラバーは一連の高速軸受を利用し、スクラビングヘッド全体で滑らかで一貫した性能を提供します。さらに、スクラバーは高効率の液体ろ過システムを備えており、粒子やその他の汚染物質がスクラブされた液体からろ過されることを保証します。スクラブ液体は、表面の過熱を防ぎ、均一なスクラブプロセスを可能にするためにスクラビングヘッドとウェーハ表面を冷却するために使用されます。スクラバーは、さまざまな化学溶液でマスク表面をきれいにするためにも使用できます。これは、さまざまな化学物質を保存し、必要なスクラブ温度に加熱することができる加熱溶液タンクを使用して行われます。さらに、スクラバーは、効率的な洗浄を確保するために、クローズループ化学溶液システムを備えています。スクラバーは、必要なスクラブ力を提供する統合された調整可能なスピードモーターによって駆動されます。内蔵モータは、2000 RPMから25万RPMまでのスクラビングパワーを提供でき、ユーザーはスクラビング要件をカスタマイズできます。スクラバーは最小限のスクラビング力を提供するように設計されており、スクラビング時間を短縮し、同じ領域を複数回スクラブする時間を無駄にします。さらに、スクラバーはウェーハとマスクの両方を同時にスクラブすることができ、全体的なスクラブ時間を短縮し、ユーザーがプロセス全体をより迅速かつ便利に完了することができます。最後に、スクラバーは長い耐用年数を保障する耐久材料のパッケージと設計されています。また、スクラバーは、スクラビングプロセスが行われている間、人員が保護されていることを保証するために、堅牢な安全システムを備えています。全体として、ASC 500は効率的で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーであり、さまざまな半導体製造プロセスで使用するための費用対効果の高い高性能ソリューションを提供します。スクラバーは、ウェーハとマスクの両方を迅速かつ効率的にスクラブするように設計されており、調節可能なスクラブ力と最大のクリーニング性能を実現する統合化学ソリューションシステムを備えています。