中古 SSEC M3303 #9354367 を販売中

SSEC M3303は標準的なマスクの基質をきれいにするために特別に設計されているウェーハおよびマスクのスクラバーです。この装置は、フィルム層を損傷することなく、または繊細な敏感な電子部品に損傷を与えることなく、ウェーハの広い領域を洗浄することができます。独自の機械式スクラビングシステムにより、マスクの歪みが少なく、基板に残留する残留物が最小限に抑えられ、効率的な洗浄が可能です。この製品は、ウェーハテーブルで設計されており、さまざまなサイズのウェーハをサポートすることができ、さまざまなアプリケーションにも調整可能です。ステッピングモータを駆動するブラシの動き機構を持ち、スクラブ速度、方向、奥行きを制御することができます。このユニットには、スクラブ速度、圧力、角度などのパラメータを設定できる専用のソフトウェアインターフェイスも装備されています。SSEC M 3303は蒸気相スクラビングマシンと統合されており、油、ほこり、その他の汚染を除去するのに役立ちます。このツールはまた、残留粒子を捕捉し、環境への侵入を防ぐために使用される強力な真空アセットを備えています。M3303にまたスクラブのプロセス中の低温を維持するように設計されている独特なクリーニングの部屋があります。この装置は、スクラブ装置の安全な動作を可能にする統合冷却モデルが装備されています。M 3303はまた、洗浄バイパスシステムを備えており、スクラビングプロセス中に任意のチップを迅速に回復することができます。さらに、スクラブ速度は調整可能で、最小速度と最大速度の設定により、オペレータは所望の範囲にスクラブ速度を調整することができます。さらに、マルチポイントスクラビングヘッド設計により、複数のスクラビング角度と基板表面の不規則性の効率的なスクラビングを可能にします。全体として、SSEC M3303は優れたウェーハおよびマスクスクラバーであり、ウェーハまたはマスク基板の損傷を最小限に抑えた徹底した洗浄を提供するように設計されています。標準マスクをはじめとする大型ウエハ基板にも対応可能で、スクラブ工程では低温を保ちながら精密にスクラブすることができます。さらに、統合されたスクラビングバイパスユニットと調整可能なスクラビングレートにより、オペレータは所望の範囲にクリーニングの速度を調整することができ、マルチポイントスクラビングヘッドは基板表面の不規則性を最適にスクラブすることができます。