中古 SSEC M3303 #9188395 を販売中
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販売された
ID: 9188395
Dry In / Out immersion & single wafer solvent processor
Cassette system: 60" Wide x 76" Deep x 105" High
Double sided
Minor finished
Stainless steel series 3 frame construction
Removable and hinged interlocked panels
PC Based control system with ASCII file formal
Message log file
With time / Date stamping: Year 2000 compliant
Windows 7 user interface with device network configuration
E-Modules with digital signal processors
Flash memory loaded from PC
EMO Chain indication on PC screen & EMO module
Drivers with brushless servo motors or stepper
Motors with positional encoders with real time motor control
SEMI F-47 Power compliant
SEMI S23 Green compliant with monitoring power
Chemical consumption
SEMI S2-0706E Safely compliant
SEMI S8-0705 Ergonomic compliant
Includes:
Fatal error software
Safety clean with pre-defined recipe
Full PC with flat panel displays
Keyboard, hard drive
RAV CD/DVD ROM for log files
SSLC Documentation
Integration of WD provided bar code scanner
CE Marked.
SSEC M3303は、半導体業界で広く使用されている強力なウェーハおよびマスクスクラバーです。SSECによって開発された同社は、優れたスループット容量と生産効率を備えた幅広い洗浄プラットフォームを持っています。SSEC M 3303は、シリコンウェーハを非常に高い基準で洗浄するために使用される洗練された装置であり、最小ダウンタイムで優れた清潔性を提供することで有名です。M3303は、エッチングおよび/またはリソグラフィック処理の前にウェーハ表面に残された残りの粒子を取り除くことを可能にする高速ウェットスクラブを提供します。これは、ほこりなどの粒子が迅速かつ効果的にウェーハ表面から離れて持ち上げられる洗浄泡を形成するクリーンなプロセスグレードの液体でウェーハをデラッグすることによって行われます。一連のマイクロタービンを使用してスクラブの泡を処理し、壊れやすいシリコン構造自体に損傷を与えることなく、ウェーハから不要な粒子を攪拌して除去するのに十分な速さで回転させます。M 3303はまた、ウェーハの精密洗浄を可能にする高度なマスキング機能を備えています。これは、プロセス液体が作業スペースの安全な領域に侵入し、設置された電子機器を汚染するのを防ぐために設計されたユニークなオーバーフローシステムを持っています。このユニットは、繊細なリソグラフィープロセス部品でSSEC M3303を使用できることを意味し、その結果、CMOSイメージャの裏面リソグラフィ、多目的リソグラフィー、ウェーハデボンディングなどの用途に適した洗浄機です。SSEC M 3303は、スピード、精度、および環境安全性の組み合わせにより、さまざまなウェーハ処理に最適なソリューションです。コンパクトなだけでなく、ノイズ出力が非常に低いため、共有作業スペースのあるビジネスでの使用に適しています。さらに、低消費電力のため、大規模な産業用ソリューションと、実験室や現場での使用などのモバイルソリューションの両方に最適です。M3303は、業界標準を超える結果を提供する優れたオールラウンダーであり、使いやすく、多様な洗浄アプリケーションに適しています。
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