中古 SSEC M3303 #9031262 を販売中

SSEC M3303ウェーハおよびマスクスクラバーは、ウェーハやマスクの手の届きにくい隙間をきれいにして洗浄するように設計された自動、完全に自動化されたロボットスクラバーです。超モダンなデザインと非常に効率的なパフォーマンスにより、半導体ウェーハやマスクを洗浄して洗浄する効率的で環境に優しい方法を提供します。SSEC M 3303ウェーハとマスクスクラバーは、CNC制御装置を使用して動作するため、操作を継続するためにシンプルかつ非常に信頼性が高くなります。400Vの3つの電動モーターで駆動され、最大8つのウエハと4つのマスクを同時に処理できます。スクラバーは、清掃ステーションと清掃ステーションの2つの独立したステーションで構成されています。クリーンステーションでは、特許取得済みの高速超音波洗浄システムを使用して、各ウェーハとマスクを洗浄します。360度のデザインで、各ウェーハとマスクのすべての表面は効果的に表面の下でもスクラブされます。気泡は、水/石鹸溶液にさらされるように、ウェーハとマスク表面から取り除かれます。これにより、ウェーハとマスクの表面ができるだけ清潔になります。クリーニングステーションでは、機械式スクラブブラシユニットまたはエアスクラバーを使用して、ウェーハとマスクを洗浄します。機械機械はウエファーまたはマスクの表面に対して前後に振動する小さいスクラブのブラシを使用します。ブラシは前後に移動すると、ウェーハやマスクの表面に閉じ込められている可能性のあるスラグ、残留物、ほこり、その他の粒子を取り除きます。エアスクラバーは真空ツールに接続されており、機械的スクラブ中に除去されなかった小さな粒子を除去します。M3303は複数のセキュリティセンサーを使用して安全性を提供します。スクラバーには、故障または危険な状態が検出された場合に自動的にスクラバーをシャットダウンする圧力センサーが含まれています。また、潜在的な機械的問題を監視し、必要に応じてスクラブ操作を停止する自動メンテナンス機能も備えています。スクラバーにはアラートアセットがあり、機械のメンテナンスが必要な場合は直ちにオペレータに通知します。全体として、M 3303は非常に効率的で信頼性の高いウェーハとマスクスクラバーです。その特許を取られた超音波洗浄モデルおよび二重場所の設計はあらゆるクリーニングかスクラビングの適用のためにそれを理想的にさせ、高度の安全特徴はそれが最も最適および安全な方法で常に働いていることを保障します。