中古 SSEC M3302 #9391889 を販売中

SSEC M3302は、ウェーハおよびマスクスクラバーの一種で、製造前および製造中にウェーハやマスクの表面を洗浄する目的で設計されています。これは、ウェーハやマスクの表面から微粒子の汚染を除去するために、機械的スクラブとクリーニングソリューションの組み合わせを使用しています。SSEC M 3302は半自動システムで、鉄骨構造で構成されています。これはカスタマイズされたデジタル制御システムで構築されており、ユーザーは一連のスクラブとクリーニングステップをプログラムできます。スクラブとクリーニングステップは、2つのスクラビングヘッドを使用して行われ、それぞれに8つのパドルが装備されており、ウェーハとマスクの表面をきれいにします。各頭部にまたクリーニングの解決を洗浄するのに使用される調節可能な洗浄ノズルがあります。スクラビングヘッドは均一な圧力を提供するように設計されており、ウェーハとマスク表面の均一で徹底的で一貫した洗浄を保証します。各スクラビングヘッドには4つの速度があり、ウェーハとマスクのサイズと形状、除去される汚染の種類に合わせて調整できます。ウェーハとマスクの表面のスクラブは、密閉されたクリーニングタンクに保管されている水槽で行われます。クリーニングタンクには、洗浄液をタンク全体に循環させ、均一な洗浄環境を維持する再循環ポンプが装備されています。M3302には、スクラビングストロークカウントや温度や圧力などのその他の変数を測定する一連のセンサーが装備されています。これらのセンサーは、ユーザーにフィードバックを提供し、所定のスクラブおよびクリーニングプログラムが所望のクリーニング要件を満たしていることを確認します。スクラブおよびクリーニングプロセスも、オンボードコンピュータによって監視および制御されます。M 3302は主に半導体業界で使用するために設計されていますが、その洗浄およびスクラビングアクションは他の目的にも使用できます。スクラブおよびクリーニングプロセスを自動化する機能により、SSEC M3302研究室、病院、開発施設での使用に最適です。SSEC M 3302の自動スクラブおよびクリーニングプロセスは、一貫した効率的なクリーニング結果を提供し、最も信頼性が高く費用対効果の高いスクラブおよびクリーニングオプションの1つです。