中古 SSEC M3302 #9236399 を販売中
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ID: 9236399
ヴィンテージ: 2005
Single wafer etcher
Main protector interrupt rating: 10,000 Amps
Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 30 A
2005 vintage.
SSEC M3302ウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体製造に使用されるウェーハおよびフォトマスクの洗浄およびスクラブのための精密機器です。スループットの向上と摩耗損失の最小化と同時に高いスクラブ性能を提供するように設計されています。SSEC M 3302ウェーハとマスクスクラバーは、産業用グレードのオールインワン設計で、今日の半導体市場の需要に対応するように設計されています。4つのスクラビングモジュールが装備されており、それぞれ3つのスクラバーに調整可能な速度と機能を備えており、幅広いスクラビング速度とパターンを可能にします。また、プログラム可能なスクラビングカセットコアを備えており、迅速なセットアップ時間、正確な制御、および高いスクラブ効率を可能にします。M3302ウェーハおよびマスクスクラバーの主なコンポーネントには、ほこりや粒子の除去ユニット、スクラビングステーション、濃縮配送機器、濃縮管理システム、フォトマスク保護ユニット、自動ウェーハハンドリングマシンがあります。粉塵および粒子除去ユニットは、0。003ミクロン以下の粒子のろ過を提供し、すべての不要な破片がスクラブする前に除去されるようにします。スクラビングステーションは3つのスクラビングヘッドで構成され、いつでも最大35個のウェーハをスクラブできます。さらに、ブラシの圧力を調整して、一貫したレベルのスクラブの一貫性を確保することができます。濃縮配送ツールは、正確で信頼性の高いものであるように設計されています。ウエハーやフォトマスク素材を問わず、基材の無駄や汚れがなく、優れた洗浄性能を発揮する超音波濃縮材を搭載しています。さらに、濃縮管理モデルは、個々のアプリケーションごとに適切な濃縮量が提供されることを保証します。フォトマスク保護装置は、スクラブ中にフォトマスクを保護する電磁シールドプロセスを使用して、スクラブ中に異物やロッド粒子が避けることを保証します。最後に、自動化されたウェーハハンドリングシステムは、スループットと信頼性を向上させ、手動ハンドリング中に発生するウェーハスクラッチのリスクを最小限に抑えます。なお、M 3302ウェーハおよびマスクスクラバーは、クリーンルーム環境下で処理する必要があります。さらに、不適切な洗浄がスクラブ効率の低下につながる可能性があるため、ユニットを定期的にメンテナンスする必要があります。
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