中古 SSEC M3302 #293680722 を販売中

SSEC M3302は、ウェーハやマスクから薄膜層を洗浄するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。この機械はフィルム層をきれいにするために最先端のフォトリソグラフィの技術を利用します。スクラバーは、小さな領域に収まるようにコンパクトなフットプリントと統合された乾燥装置で設計されています。スクラバーはリバースエアチャンバーを使用して、ウェーハまたはマスクの表面にあるフィルムをスクラブする強力なエアブラストを提供します。スクラバーはマイクロプロセッサ制御ノズルを備えており、正確で反復可能なエアストリームを生成します。これにより、ユーザーはエアストリームのスクラブ圧力と速度を調整することができます。制御システムでは、サイクルタイムやクリーニングエリアなどのクリーニングパラメータも選択できます。スクラバーには、基板またはマスクの洗浄用の高圧液体ノズルも備えています。これにより、より徹底的な洗浄が可能になり、ウェーハの損傷を軽減します。スクラバーには、フォトレジスト、ポリイミド、酸化物など、さまざまな種類の層のためのさまざまな洗浄ソリューションが付属しています。スクラバーは、洗浄時にウェーハまたは基板の位置決めにウェーハガイドユニットを使用します。ガイドは、クリーニングプロセス中にウェーハが正しく配置されていることを確認します。ガイドはまた、サイクル中にウェーハが移動せず、クリーニング中に損傷しないようにします。スクラバーには、ウェーハとマスクの積み降ろしを支援する自動機械が装備されています。スクラバーは、顕微鏡や分光計などの他の分析ツールとリンクして、異なる層を正確に洗浄することもできます。最後に、安全でない環境での動作を防止する安全ツールがスクラバーに装備されています。要するに、SSEC M 3302は最先端のウェーハとマスクスクラバーであり、薄膜層の高品質な洗浄を可能にします。スクラバーには、強力なエアクリーニングのためのリバースエアチャンバー、追加のクリーニングのための液体ノズル、およびウェーハとマスクの積み降ろしのための自動化された資産を備えています。安全運転を確保するためのセーフティシステムも備えています。