中古 SSEC M200 #293768133 を販売中

SSEC M200 Wafer&Mask Scrubberは、半導体業界のニーズに応えるために設計された強力で精密な洗浄機です。エアベースの高度な洗浄装置を使用して、小型および大型基板を迅速かつ効率的に洗浄します。このシステムは、最大2つのウェーハと2つのマスクを同時に処理することができます。このユニットは、ウェーハとマスクの上面と下面の両方にある一連の回転スクラバーヘッドを使用しています。これらのスクラバーは、指定された速度で反時計回りに回転し、スクラビングヘッド圧力は基板サイズごとに調整可能です。スクラバーは、ウェーハとマスクのあらゆるエリアにアクセスして、予期せぬ損傷を与えることなく効率的な洗浄を保証します。マシン内のスクラビングバスは、一連の試薬分配ポートとディップトレイで構成されています。これらのディスペンスポートとディップトレイは、定期的かつ均一な試薬分布を提供するように設計されており、また、汚染物質が表面に残されていないことを保証します。スクラビングバスは、さらにスクラビング環境に入る外国材料の可能性を低減するために、自動フィルター機によって囲まれています。このツールには、洗浄プロセスを合理化および最適化するために設計された多数の追加機能も付属しています。アセットには、複数のウェーハ基板で使用可能な調整可能なブラシが装備されており、これらのブラシは傷による損傷を軽減するように設計されています。また、スクラブ環境の自動温度制御を可能にするために、サーマルカップルを内蔵しています。さらに、自動化されたウェーハとマスクローディング装置を備えており、オペレータはウェーハとマスクを機械から素早くロードおよびアンロードすることができます。このシステムには中央のコントロールパネルも含まれており、ユーザーはスクラビングパラメータを簡単に監視および調整することができます。M200 Wafer&Mask Scrubberは、半導体業界のニーズを満たすように設計されており、あらゆるタイプの基板に強力で信頼性が高く、効率的な洗浄ソリューションを提供します。SSEC M200 Wafer&Mask Scrubberは、安全で均一で正確なクリーニングプロセスを確保することで、半導体製造の品質を向上させるための費用対効果の高い代替手段を提供します。