中古 SSEC M 2334 #293652698 を販売中

ID: 293652698
ウェーハサイズ: 12"
Flux cleaning system, 12", parts machine Missing parts: Chamber arm HPC valves and pump Paddle Wet station assembly.
SSEC M 2334はウェットプロセスおよびフォトマスクシステムから粒子、汚染物質および塵を取除くのに半導体業界で使用されるウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーは、ウェットとドライシステムの両方で動作するように設計されており、ウェハまたはフォトマスクの表面に洗浄液を噴霧することによって動作します。クリーニング液は、粒子を緩めて除去するのに役立ち、また、ウェーハやフォトマスクの表面損傷を軽減するための潤滑を提供します。M 2334スクラバーには、あらかじめ浸したタンク、スクラブタンク、すすぎタンク、廃棄タンクが装備されています。プレソークタンクは加熱され、スクラブプロセスに使用するさまざまな洗浄ソリューションを提供します。スクラブタンクは、スクラブアクションが発生する場所であり、ウェーハまたはマスクをトラックに沿って移動するデュアル回転ブレードが装備されています。ブレードが回転すると、破片、汚染物質、および塵を表面から取り除きます。洗浄タンクは、スクラブ処理から取り残された残留物や粒子を洗い流すように設計されています。廃棄物タンクは、ウェーハまたはマスクから除去された後、すべての粒子と汚染物質が収集される場所です。SSEC M 2334スクラバーは、ウェーハおよびフォトマスクシステムから粒子、汚染物質、および塵を除去するための信頼性の高い効果的なツールです。蓋インターロックスイッチ、ストップマイクロスイッチ、温度制御などの安全機能を備えており、安全かつ効果的に動作します。スクラバーには、クリーニングソリューションのリカバリポンプと、スクラビングプロセスを監視および管理するためのデジタルディスプレイも含まれています。全体的に、M 2334は、湿った乾燥プロセスシステムから粒子、汚染物質、およびほこりを洗浄および除去するための効果的で信頼性の高いスクラバーです。生産環境で使用するように設計されており、安全かつ効果的に動作していることを保証するために、さまざまな安全機能を備えています。スクラバーには、スクラビングプロセスを最適化するのに役立つデジタル表示およびリカバリポンプも装備されています。
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