中古 SSEC Evergreen M200 #116501 を販売中
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ID: 116501
Cleaner parts system
Spin station not functional, does not rotate
One chemical tank missing.
SSECエバーグリーンM200は、SSEC (Semiconductor Equipment Engineering Corporation)が開発したウェーハ&マスクスクラバーです。エバーグリーンM200は、高精度の半導体加工アプリケーションのための高性能マスクスクラブおよびクリーニングを提供します。スクラバーの設計により、均一なスクラブアクションとスクラブスピード、温度、圧力を正確に制御できます。SSEC Evergreen M200は、過酷な環境でのウェーハやマスクスクラブ用に設計されています。それは長期使用のために設計され、悪条件に抗できる険しい、ステンレス鋼フレームが装備されています。このデバイスには、真空ポートと調整可能なアーム位置決めが付属しており、スクラブ部品を正確に配置できます。常緑M200には、高度なスクラブ装置と機能が装備されています。このデバイスには、データユニットコントローラ(DSC)、スクラビングモータ、デジタル圧力制御、温度制御、およびオプションのスクラビングヘッド走行速度設定を備えたデジタルスクラビングシステムが含まれています。スクラバーには、空冷スクラビングタンクと自動泡検出器も装備されています。SSEC常緑M200スクラビングプロセスは、一定で信頼性の高い電力を提供する発電機によって駆動されます。発電機はまたユーザーが処理されるウェーハおよびマスクに従って最適のスクラブの速度を選ぶことを可能にする調節可能なスクラブの速度および調節可能なスクラブ圧力を提供します。ウエハやマスクスクラビングマシンは洗練されたバブル検出ツールも備えています。この資産は、任意のスクラビングバブルを検出し、それらのいずれかが存在する場合は、ユーザーに通知するために超音波センサーを利用しています。常緑M200にまた優秀な環境保護の特徴があります。排出量を削減するために、ウォータートラップと排気フィルターを装備しています。スクラバーはまた、適用されるすべてのISO 14001環境基準を満たしています。最後に、SSEC Evergreen M200は、半導体メーカー向けに設計された使いやすいウェーハおよびマスクスクラバーです。このデバイスは高効率で信頼性が高く、費用対効果が高いため、マスクスクラビングアプリケーションに最適なソリューションです。
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