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SSEC Evergreen II
ID: 9276495
Large substrate high pressure scrubber.
セイコーSSEC エバーグリーンIIウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体ウェーハ、マスク、その他の部品メーカーのニーズに合わせて設計された多機能クリーニング、スクラブ、乾燥装置です。これは、スクラブと乾燥ユニット、および化学注入と循環ユニットの2つの半分で構成される完全に自動化された自己完結型のユニットです。スクラブと乾燥部分は、吸引システムを内蔵したロータリーブラシを使用しています。このユニットは、ブラシを通して洗浄液を循環させ、ウェーハやマスクと接触させ、存在する可能性のある汚れや破片を取り除きます。同時に、熱気の流れがスクラブ表面に吹き付けられ、急速な乾燥プロセスを助けます。ユニットの2番目の部分は、ウェーハまたはマスク洗浄プロセス用に特別に設計されたいくつかの洗剤および界面活性剤から選択できるクリーニングソリューションの調整と循環を担当しています。これにより、さまざまなソリューションを個々の材料や用途に最適化できるため、さまざまなニーズに対応できる洗浄プロセスの柔軟性が得られます。循環機械はコンピュータによって制御され、さまざまな変数および条件を置くために簡単で、容易なアクセスを可能にします。スクラバーは手動でも自動化されたプロセスでも使用できるように設計されており、1回の操作で最大6インチのウェーハと15インチのマスクを洗浄することができます。コンパクトで静かな操作で、スペースやノイズの制約のある場所での使用に適しています。また、組み込みの安全機能を備えており、製造プロセスの信頼性と寿命を確保するために厳格な資格試験に合格しています。全体として、Evergreen II WaferとMask Scrubberは、半導体メーカーに信頼性の高い高品質の結果を提供するように設計された汎用性が高く、信頼性が高く、効率的な洗浄、スクラブ、乾燥ツールです。
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