中古 SSEC Evergreen 50 #161265 を販売中

SSEC Evergreen 50 Wafer&Mask Scrubberは、最も要求の厳しい半導体製造および研究開発活動のために設計された、半導体製造のための高性能機器です。このシステムは、優れた洗浄、ラッピング、研磨、スクラブ精度を提供するように設計されています。Evergreen 50は、8インチのウェーハサイズと主要なフラット用途までのウェーハとマスクを処理できる汎用性の高いユニットで、シリコン、SOI、 GaAs、 SiGe、 InPなど、さまざまなウェーハ材料を処理できます。このマシンは、最大16,000RPMの速度で動作するように設計されており、洗浄および研磨媒体、パッド、研磨剤の幅広い選択で最大1。2 μ m/分の高い除去速度を提供します。SSEC Evergreen 50は、HiFlo™マルチステーションの円気流と液体霧化プラットフォームを備えており、プロセス制御、再現性、洗浄プロセスの微調整を可能にします。制御ツールには、Fusion™ソフトウェアパッケージとリモートコントロール操作を備えたPHS Groupサーボドライブが含まれています。新たに開発したSSEC統合ベアリングアセット（ISB）は、優れた剛性、精度、再現性を提供し、ダイナミックエラーの低減と表面品質の向上を可能にします。その統合された軸受けモデルおよびクラス最高の設計証明書は改善された平坦および欠陥制御のための従来の軸受け位置の不正確さを除去します。Evergreen 50はプラグアンドプレイ機能用に設計されており、ウェーハカセット、ウェーハボウル、マスクカセットなど、ウェーハやマスクを素早く簡単に積み降ろすことができる幅広いアクセサリーにバンドルされています。優れた性能に加えて、SSEC Evergreen 50は優れた光学および熱特性と低消費電力率を提供し、どちらも運用コストを最小限に抑えます。この装置は、ITRS （International Technology Roadmap for Semiconductors）を含む最も要求の厳しい仕様を満たすように設計されており、信頼性と一貫した結果を保証します。結論として、Evergreen 50は、最も困難な半導体製造および研究開発アプリケーション向けに設計された、高度で高性能なウェーハおよびマスクスクラバーです。ウエハクリーニング、ラッピング、研磨に最適で、優れた光学および熱特性と低消費電力で優れた洗浄および研磨結果を提供します。これにより、SSEC Evergreen 50は半導体製造のプロフェッショナルにとって最高の選択肢となります。