中古 SSEC Evergreen 300ML Series III #9230467 を販売中

SSEC Evergreen 300ML Series IIIは、フォトマスク、レチクルおよびその他のフラットLSIコンポーネントの洗浄と調製のために設計されたフルオートウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーには、個別に校正および制御可能なクリーニングおよびスクラブ操作を提供する2つの独立したクリーニングチャンバーが装備されています。最初の、注入および洗浄部屋は液体を補充し、スクラバーのクリーニング行為に力を与えるために注入方法を利用します。スクラバーには電子的に調整可能な背圧バルブとノズルが装備されており、流体分布を正確に制御および変化させることができ、洗浄効率を最大化しながらウェーハ表面の粒子再分配を最小限に抑えます。2つ目のチャンバーは、マスクとウェーハの両方にクリーニング環境を提供するように設計されたマスクとウェーハチャンバーです。このチャンバーは2段スクラバー機構を備えており、コンパクトなウェットスクラビングと全面ウェットスクラビング、電解プラズマアーク洗浄、加速洗浄動作を同時に提供します。2段階のスクラバー機構は、特別な洗浄パターンを可能にするために自由に調整することができ、柔軟で非常に効果的な洗浄プロセスを提供します。スクラバーにはさらにパーティクルビューウィンドウが装備されており、ユーザーはパーティクルサイズと量を監視することができます。このスクラバーにはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）もインストールされており、簡単な操作と簡単なリモート設定が可能です。スクラバーは自己診断のために設計され、操作および安全監視のための多数の警報があるので便利にそして安全に作動し、維持することができます。全体として、Evergreen 300ML Series III WaferとMask Scrubberは、高効率で信頼性の高い洗浄プロセスを提供し、調製プロセス中のコンポーネントの最高品質を保証します。自動化された制御と機能豊富な特性を備えたこの強力なスクラバーは、フォトマスク、レチクル、およびその他の壊れやすいLSIコンポーネントの洗浄と準備において、精度と均一性を必要とする幅広い業界にとって理想的な選択肢です。