中古 SSEC Evergreen 202 series II #16914 を販売中
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ID: 16914
ウェーハサイズ: 3" - 5"
ヴィンテージ: 2000
Wafer Etcher, 3"-5"
Power requirements: 220 V, 20 A
2000 vintage.
SSECエバーグリーン202 シリーズIIは、半導体ウェーハおよびリソグラフィーマスクの高精度洗浄のために特別に設計された洗練されたウェーハおよびマスクスクラバーです。クリーンルーム内のマスクやウェーハからの粒子状汚染を確実に除去することができる、汎用性の高い高速ユニットです。高速ロータリーブラシヘッドと幅広いブラシとパッドオプションを備えたスクラバーです。スクラバーは自動的にブラシの速度、打撃の長さおよび圧力を調節するようにプログラムすることができます常にあらゆる基質材料のための最適なクリーニングパラメータを維持できます。ブラシの頭部は基質のサイズおよび形に調節でき、完全な適用範囲およびクリーニングの効果を保障します。また、スクラバーには統合されたデュアルステージHEPA(高効率粒子空気)濾過システムが搭載されており、スクラビングプロセス中に発生する粒子状物質を除去し、汚染のないクリーンルーム環境を確保することができます。スクラバーには自動ゼロ化機能もあり、一貫したクリーニングパターンを確保し、基材の傷や汚れを防ぎます。スクラバーはステンレス鋼および他の耐食性合金から組み立てられ、それを非常に耐久および操作上の摩耗に対して抵抗力があるようにします。さらに、センサーと制御システムは、スクラバーの性能に対する正確なフィードバックを提供するように設計されているため、その耐用年数を最大化するために監視および最適化することができます。Evergreen 202 シリーズIIは、使いやすいコントロールパネル、ユーザー定義の設定、リアルタイムのスクラビングデータなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能も備えています。このスクラバーは、ウェーハやリソグラフィーマスクの自動洗浄、再現性、信頼性の高い洗浄に理想的で、ルーチン洗浄と産業洗浄の両方のニーズに適しています。
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