中古 SSEC 3302 #9225599 を販売中
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ID: 9225599
ウェーハサイズ: 6"
Single wafer chemical etcher, 6"
(2) Wafer processing modules
Acid processing
Stainless steel construction
(2) Wafer elevators
PC Controller
CE Marked
Power: 220 V, 3 Phase, 60 Hz, 30 A.
SSEC 3302は、サービスシステムズ(SSEC)が製造するウェーハ&マスクスクラバーです。このスクラバーは、ウェーハやマスクから粒子や残骸をきれいかつ効率的に除去するために、半導体製造設備で使用するために設計されています。3302に2つの主要な段階から成っている堅く、有効なスクラブプロセスがあります;スクラブと乾燥。最初の段階では、ウェーハまたはマスクがスクラバーにロードされます。その後、スクラバーは水平スクラビングと円形スクラビングの組み合わせを使用してプロセスを開始します。これは、ウェーハやマスク表面から粒子や汚染物質を除去する際に非常に効果的なスクラブ作用を生成します。また、ウェーハやマスクに脱イオン水を供給する高圧スプレー装置を採用し、洗浄効果のさらなる向上を図っています。スクラビングプロセスが完了すると、SSEC 3302の第2段階が開始されます。これが乾燥工程です。ウェーハとマスクを乾燥台に移し、乾燥ガスを強制的にシステムを通過させます。乾燥ガスは、ウェーハやマスクから残りの水分子を蒸発させ、水分を除去して清潔にし、製造プロセスで使用する準備を整えます。3302は性能および安全の最高基準を満たすように設計されています。低電圧の電源や絶縁部品など、電気の危険から保護するための安全機能が多数搭載されています。スクラビングメカニズムには、掃除中に粒子や汚染物質が効果的に除去されるようにするための真空補助ユニットも含まれています。さらに、SSEC 3302には6軸センサマシンがあり、操作中のスクラバーの動きと向きを追跡します。これにより、ウェーハやマスクを安全かつ正確にスクラブすることができ、毎回最適な結果が得られます。3302スクラバーは半導体の製造のための貴重な用具です。堅牢なスクラブと乾燥プロセスは、ウェーハやマスクから粒子や汚染物質を除去するために非常に効率的で効果的です。さらに、その包括的な安全機能により、SSEC 3302はあらゆるクリーンルーム環境に最適です。
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